Page 204 - Zur Reinheit funktionaler Oberflächen

12.2 MIKROSKOPIE

12.2.4 Raster-Kraft-Mikroskop (AFM)

Das Rasterkraft-Mikroskop setzen wir ein, um die Morphologien und Eigen-
schaften technischer Oberflächen wie von Wafern, Glas, Polymer-Garnen,
Filamente von ultrareinen Tüchern im Nanometer-Bereich zu erforschen,
nachdem wir sie im CO -Plasma gereinigt haben. Mit dieser Methode wird
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u. a. die Reinigungs-Effektivität von HiTech-Reinigungs-Tüchern für Nano-
Schichten bestimmt. Ein wichtiges Gebiet ist auch die Darstellung der Rie-
fenbildung durch wischende Reinigungs-Prozeduren beim Reinigen empfind-
licher Oberflächen (siehe PUB-Nr. 33: Minderung der Oberflächen-Qualität
durch wischendes Reinigen - Riefen und Kratzerbildung auf funktionalen
Oberflächen, Lounges 2015, Stuttgart 20. Mai 2015).

12.2.5 REM-Proben-Trocknungsgerät

Feuchte Proben für die Elektronen-mikroskopische Darstellung von Oberflä-
chen haben die Eigenschaft im Hochvakuum des Raster-Elektronen-Mikro-
skops ihre Position zu verändern, woraus sich unscharfe REM-Abbildungen
ergeben. Abhilfe schafft ein spezielles Trocknungs-Gerät zur Proben-Ent-
wässerung. Die Proben lassen sich damit vollautomatisch entwässern. Das
Verfahren ist sehr schonend, so dass sich auch empfindliche biologische
Mikroskopie-Präparate bearbeiten lassen, wie Insekten, Pflanzen, Pollen und
Gewebeschnitte bevor sie in der nachstehend beschriebenen Vakuum-Sput-
ter-Anlage mit einer dünnen Gold- oder Platinschicht bedampft werden, um
brillante REM-Aufnahmen zu ermöglichen.

12.2.6 Auto-Sputter-Coater
Ein Gerät zur automatischen Beschichtung nichtleitender Proben der Elekt-
ronen-Mikroskopie mit Gold, Gold/Palladium, Silber u. a. Metallen. Insbeson-
dere Goldbeschichtungen ergeben elektrisch sehr gut leitende Oberflächen,
wodurch scharfe REM Abbildungen bei hohen Vergrößerungs-Maßstäben
möglich werden. Die gewünschte Beschichtungsdicke ist am Gerät im
Bereich von 1-50 nm einstellbar. Die Beschichtungs-Progression wird in
einem Display angezeigt. Das Gerät ist durch den unten angeordneten
Magnetron-Kopf auch für „kalte“ Proben-Beschichtungen geeignet. Es muss
bei allen ggf. der Beschichtung folgenden EDX-Analysen beachtet werden,
dass eine auf die Probe aufgebrachte Goldschicht evtl. vorhandene eigene
Goldanteile der Probe verfälschen kann. In der Nähe der Goldlinie (M) liegen
außerdem Schwefel (K), Molybdän (L) und Niob (L), welche die Goldlinie
überlagern können.
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