Page 316 - Zur Reinheit funktionaler Oberflächen

Abb. 4 Wandspender WASPE Abb. 5 Querschnitt durch einen Einzelblatt-Spender, der mit
Interfold-Tüchern gefüllt ist.

Entnahmearten in etwa gleich ist. Beim Dauer-Einsatz von
Zeit / Ef fektivität - Diagramm für Reinigungstücher Einzelblatt-Spendern in mehreren deutschen Groß-Reinräumen
Zeit / Effektivität - Diagramm für Reinigungstücher
100 hat sich zudem über den Zeitraum von Jahrzehnten kein nach-
Ideal-
Ideal-
punkt
punkt T Tuch A teiliger Effekt gezeigt.
Reinigungs - Effektivität % Reinigungs - Effektivität % 20.4.3 Einsatz von Spezialtüchern
uch A
Die vorstehenden Ausführungen beziehen sich auf Reinraum-
Standard-Tücher aus Polyester-Zellstoff-Vlies. Solche Tücher
Tuch B
uch B
T
von Plasma-Ätzmaschinen jedoch wegen der relativ großen
Minimal- sind für kritische Reinigungs-Aufgaben wie z. B. der Reinigung
Minimal-
punkt
0 punkt freigesetzten Partikelmengen der Zellstoff-Anteile dieser
0 Reinigungs - Zeit (min) 4 Tücher ungeeignet. Für die Aufgaben der Equipment-Reinigung
Reinigungs - Zeit (min)
als auch im optischen Bereich ersparen höherpreisige Tücher
wie Polyester-Gestricke aus Mikrofilamenten oft das meiste
Abb. 6 Darstellung der Größen Reinigungs-Effektivität und Geld. Es ist letzten Endes unerheblich, ob ein Tuch € 2,50
Reinigungszeit
kostet wenn sich durch dessen Einsatz die Stillstandszeit einer
Plasma-Ätzanlage erheblich verringern lässt (siehe Abb. 6
und 7).
Tuch A Spezial-Tücher sind heute in der HiTech-Fertigung sinnvolle
T
uch A
Preis 0,35 Euro Hilfsmittel einer kostenbewussten Fertigungskultur. Die Kosten
Reinigungs-Zeit 1 min für deren Einsatz müssen jedoch stets im Verhältnis zu den mit
Zeit-Kosten 1,00 Euro ihrer Hilfe erzielbaren Einsparungen gesehen werden. Bereits
Gesamt - Kosten Total Gesamt - Kosten Total Tuch B 0,11 Euro wie unterschiedlich die Oberflächen der verschiedenen Tücher
Gesamt-Kosten 1,35 Euro
beim Betrachten der Abb. 8, 9 und 10 lässt sich erkennen,
T
uch B
Preis
beschaffen sein können und wie unterschiedlich daher auch
Reinigungs-Zeit 2 min
deren zu erwartende Reinigungs-Effektivität (Abb. 11) ist.
Zeit-Kosten
2,00 Euro
Gesamt-Kosten 1,11 Euro
Spezialtücher werden für die Siebreinigung in der Hybrid-
Zeitkosten Schaltungs-Fertigung, die Vor-Reinigung von Plasma-Ätzma-
Materialkosten schinen, für die Reinigung optischer Gläser und Laser-Spiegel
sowie für die Reinigung der CCD-Sensoren von Kameras
T
Tuch A T uch B
uch A
Tuch B
angeboten. Im Pharma-Bereich sind es beispielsweise Desin-
Abb. 7 In diesem Diagramm zeigen sich bei dem Tuch B fektionsmittel-getränkte, Gamma-Strahlen- oder Anti-Endoto-
die deutlich erhöhten Gesamtkosten für die Reinigungs- xin-behandelte Tücher und solche, die von DNA-Fragmenten
Prozedur durch den Einsatz eines preisreduzierten frei sind.
Reinigungstuchs mit geringerer Reinigungs-Effektivität
bzw. Reinigungszeit. Die Materialkosten-Einsparung von
69 % resultiert in einer Gesamtkosten-Erhöhung für die
Reinigungs-Prozedur von 56 %.
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