Page 185 - Zur Reinheit funktionaler Oberflächen
P. 185
Win Labuda und Stefan Haupt
10. Visualisierung von Mikro-Verunreinigungen
Kollektor-Platte für Flüssigkeits-Rückstände, Materialabdrücke und Partikel*
Während der Begriff Messen das skalierte Vergleichen von
technischen Zustands- und Bezugsgrößen beschreibt, kennen
wir alternative nicht skalierte Wahrnehmungsformen, die
für bestimmte Aufgaben ausreichend oder sogar von Vorteil
sein können. Oftmals sind die Probenahme und Aufbereitung
genauer Messdaten von technischen Zuständen mit hohem
Aufwand und Zeitbedarf verbunden. Es reichte in vielen Fällen
jedoch die Information „zu viel“ oder „zu wenig“ um auf
bestimmte Zustände zu reagieren.
Wenn sich auf einer Sedimentations-Platte im Reinraum nor-
malerweise 10 Partikel befinden und beim folgenden Messin-
tervall sind es hunderte dann ist die präzise Information ob es
exakt 610 oder 720 Partikel sind bedeutungslos. Die wichtige
Information lautet: Viel mehr Partikel als sonst - Maßnahmen
zur Wiederherstellung des ursprünglichen Zustands müssen
eingeleitet werden. In solchen Fällen können Indikator-Metho-
den wegen der Eindeutigkeit ihrer Aussage und deren soforti-
ger Bereitstellung den hoch entwickelten Messmethoden über-
legen sein. Außerdem erfordern Indikator-Methoden geringere
Investitionen und lassen sich oft auch durch angelerntes Per-
sonal handhaben. Im Clear & Clean-Forschungslabor beschäf-
tigen wir uns mit der Erarbeitung von „LowTech“-Methoden
für den Einsatz in der Reintechnik, damit der Anwender das
eingekaufte Reinraum-Verbrauchsmaterial selbst prüfen kann,
und er nicht auf externe Hilfe angewiesen ist. Einige solcher
Methoden werden nachstehend beschrieben:
10.1 Visualisierung von Reinheits- Technologen in den HiTech-Industrien sind oftmals darauf
Zuständen angewiesen, Zustände von Unreinheit im Mikrometer-Bereich
zu erkennen und zu korrigieren. Dafür stehen elektronische
Geräte zur Verfügung. Diese übertragen „Un-Reinheit“ in
numerische Daten. Deren physikalische Einheiten sind bei-
spielsweise Partikel pro Volumen- oder pro Flächeneinheit.
Heute lässt sich relativ genau messen, wie viele Partikel sich
in einer Flüssigkeit oder auf einer Oberfläche befinden. In der
Forschung oder bei Material-Prüfungen werden solche Rein-
heits-Daten zu Vergleichszwecken benötigt, beispielsweise um
sicherzustellen, dass in einem Fertigungs-Prozess vorgegebene
Grenzwerte eingehalten werden. Ein solches Instrumenta-
rium mit hoher Messgenauigkeit steht jedoch nicht überall zur
Verfügung. Es kostet zudem etliche tausend Euro und wiegt
zwischen 1 und 20 kg.
185
