Page 128 - Zur Reinheit funktionaler Oberflächen

6.3.4 Messung der ionischen „Eine kritische Quelle ionischer Kontamination in Reinräumen“
Kontamination sind die Verbrauchsmaterialien wie beispielsweise HiTech-
Wischmittel“ schreiben vier chinesische Autoren in ihrem
Aufsatz über quantitative Techniken zur Bestimmung der
6.3.5 Ionenbestand von HiTech- Airborne Molecular Contamination (AMC) in HiTech-Reinigungs-
Wischmitteln Tüchern [4]. Diese Vorstellung geistert seit langem durch die
Reintechnik [5] wenngleich nie der Beweis dafür angetreten
wurde.
Es gibt insbesondere zwei Industriezweige in denen das Vor-
handensein und die Übertragung ionischer Kontamination zum
gefertigten Produkt hin aus prinzipiellen Gründen unerwünscht
sind. Das sind insbesondere die Leiterplatten-Baugruppen-
Industrie und die Halbleiter-Fertigung. Obwohl es in diesen
beiden Industriezweigen - zumindest jedoch in der Waferfer-
tigung - unwahrscheinlich ist, dass die Scheiben direkt mit
HiTech-Reinigungs-Tüchern in Kontakt kommen, so muss doch
damit gerechnet werden, dass die ionische Kontamination

HiTech-Reini- Ionen-Bestand [ppm]
gungstuch /
Code NH4+ Ba Ca K Li Mg Na Sr Cl- F- NO3 NO2 PO4 SO4 Summe Summe Kationen
Kationen Anionen + Anionen
gesamt
0,129
0,154
6,042
0,819
0
0,053
0
2,458
0,3
1,992
1-3
10,646
0,457
0
8,654
0,028
0,073
0,133
Vliesstoff-Tücher Block I 1-4 0,258 0 0 0 1,466 0,226 0 0 0 0,14 2,487 0 2,446 0,277 0,183 0,161 0,121 1,488 12,305 4,555 19,778
9,132
4,577
0
0,906
0
12,16
0
1,188
1,076
0
0
0
1-2
5,7
2,409
0,147
0
0
4,334
7,201
8,207
6,447
0
1,887
1-1
0,415
0,343
0
1,571
15,408
0,411
0
0
0,47
8,3451
0,05
1-5
0,58
0,06
0,08
0,03
0,25
0,13
0,331
0,03
0
0,114
0,04
0,093
0,084
0
2-5 0,048 0 0 0 0,416 0,194 0 0 0 0,139 3,209 0 0,376 1,011 0,378 0,084 0,118 3,065 4,006 4,3391 23,7531
0,114
0,094
3,187
Gestrick-Tücher Block I 2-4 0,391 0 0 0,101 0,156 0 0 0,074 0,231 0 0,091 0,066 0,526 0,063 0,207 0,042 0,538 0,683 1,221
0,073
1,472
0,045
1,715
0,311
1,135
2-3
0
0,102
0,1
0
0,05
0
0
0
0,3
0,084
1,681
2-2
2,293
4,408
1,755
0
0,073
0,063
2,44
0
1,49
2-1 (0)
0,061
1,113
0
2-1 (1) 0,136 0 0 0,354 0,119 0 0 0,405 4,526 0 0,554 0,369 0,072 0 0,032 0,463 5,135 0,397 6,625
6,187
0,154
0
5,79
0,214
0
3,896
0,047
0,222
0,075
0,08
0,05
0,11
4-5 0,043 0 0 0,028 0,076 0 0 0 0 0,08 0 0,062 0,121 0,138 0 0 0 0 0,298 0,321 12,812
0,1
0
0,05
Gestrick-Tücher Block II 4-4 0,067 0 0 0,021 0 0 0 0 0 0 0,039 0 0,045 0,923 0,057 0 0,091 0 0 0,088 1,229 1,317
0,228
0
0,039
0,07
0,549
0
0
4-2
0,17
0
0,07
1,866
0,055
0
0
4-1
0,122
0
0,127
0,028
0
4-3 1,064 0,148 6,01 0,069 0 0,802 0,472 0 0,064 4,482 0,142 0,1 1,141 0,075 8,565 6,004 14,569
Tab. 8 Ionen-Bestand ausgewählter HiTech-Reinigungs-Tücher (Der Block II für Vliesstoff-Tücher soll in Jahresfrist nach Herausgabe
erscheinen.)
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