Page 138 - Zur Reinheit funktionaler Oberflächen

Prüftemperatur 25 °C Prüftemperatur 90 °C
SPME-Technik nach Pawliszyn SPME-Technik nach Pawliszyn
Prüfling Ausgasung pro Ausgasung pro Ausgasung pro Ausgasung pro Ausgasung pro Ausgasung pro
Gramm m²-Filament-Ofl. Masche Gramm m²-Filament-Ofl. Masche
[µg/g] [µg/m²] [ng/Masche] [µg/g] [µg/m²] [ng/Masche]
2-1 (0) 1,49 12,2 0,03 4,38 36,0 0,07

0,02
0,99
8,1
0,08
4,53
37,3
2-1 (1)
Gestrick-Tücher Block I 2-2 3,16 25,0 0,09 5,41 42,8 0,16
9,1
2-3
5,77
59,7
0,39
0,06
0,88
2-4
0,03
5,25
2-5 0,36 11,0 0,01 7,71 234,8 0,29
0,23
0,59
226,5
25,4
60,6
4-1 0,99 11,1 0,06 5,45 288,2 0,35
Gestrick-Tücher Block II 4-3 0,57 33,2 0,02 4,18 242,1 0,16
76,0
0,15
4-2
1,18
4,47
0,04
0,07
0,27
355,0
6,35
88,6
1,58
4-4
4-5 0,72 48,5 0,04 5,25 352,0 0,28
Tab. 9 Chemische Reinheit ausgewählter HiTech-Reinigungs-Tücher bei Angabe des Mittelwerts aus jeweils 6 Einzel-Messun-
gen pro Tuch. Der durchschnittliche Variationskoeffizient beträgt bei der SPME-Technik bei 25 °C 14,2 % und bei 90 °C 9,9 %.
Bereich untersucht werden. Die weit verbreitete Thermo-
Desorption mit der Prüfkammer-Technik mittels Absorber-
Röhrchen und anschließender GC-MS-Analyse weist etwas
geringere Nachweisgrenzen als die SPME-Technik auf und
erlaubt aber die Bestimmung zeitabhängiger Ausgasungs-
Raten. Sie hat jedoch einen hohen Zeitbedarf (teils Wochen
und Monate pro Prüfling) für die Analyse einer Vielzahl von
Prüflingen und ist zudem nicht automatisierbar. Die noch einfa-
cher durchzuführende Dampfraum-Technik (Headspace-GCMS)
ist andererseits nicht empfindlich genug, um die Ausgasung
der hochreinen HiTech-Reinigungs-Tücher bei realitätsna-
hen Prüftemperaturen (zwischen 20 und maximal 90 °C) zu
erfassen. Erst bei Prüftemperaturen von 120 bis 170 °C sind
bei dieser Technik relevante Ausgasungsmassen nachweisbar,
die aber teilweise bereits auf thermische Abbau-Reaktionen
zurückzuführen sind (siehe Tabelle 9 und 10).
Konkret wurde mittels SPME-GC-MS die Gesamt-Ausgasung
diverser HiTech-Reinigungs-Tücher und -Overalls bei den
Prüftemperaturen 25 °C und 90 °C in Summe bestimmt.
Danach können wir bestätigen: Die erhaltenen Massen sind
durchgehend dem Spurenbereich zuzuordnen und leisten aller
Wahrscheinlichkeit nach keinen signifikanten Beitrag zur AMC-
Belastung (Airborn Molecular Contamination) im Reinraum.
Da zudem bei Reinigungs-Prozeduren oftmals Lösungsmittel-
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