Page 143 - Zur Reinheit funktionaler Oberflächen
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N a n o - V e r un r e i n i g u n g s - S c hi c ht di c k e ,   e l l i psom e t r i s c h
                                          Nano-Verunreinigungs-Schichtdicke, ellipsometrisch
                            1 1            2 2            3 3            4 4             5 5
                               �
                                                          n
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                        K Kollektorpla�e     Dicke der  r    K Kontamina�on durch     Dic k e   d e s   R ü c k s t a n d s    Ergebnis: :
                                                               r
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                                                     o
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                                                               c
                                                                                         bn

                                                                                        e
                                                                                       g
                                           k
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                                                                                          is
                                         Dic
                                                                                       r
                                            d

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                                e
                                                          a
                                                                                      E
                                                            o
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                                                                    Dicke des Rückstands
                                                          i
                                                           m
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                                       V
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                                                        s
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                         nanometrisch     Verunreinigung     Wischsimulator  r      V Verunreinigungs- -
                                                                                     e
                                                            u
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                                                                                            g
                                                                                           un
                                                                                         in
                                                                                          ig
                                                                                      un
                                                                                     r
                                                                                             s
                                                                                       r
                                                                        messen
                                         messen
                            e
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                                                                                   Dicke (als Differenz)
                         e
                         v
                         verunreinigen n  m e s s e n   e en�ernen n    m e s s e n  Dic k e  ( a ls   D i ff e r e n z )
                                                         �
                                                         n
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                                                          e
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                                                  A
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                                              n
                                S
                                Spuren-Visualisierung nach Abdruck k

                                            un
                                                c
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                                     V
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                            1 1            2 2            3 3
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                       P Prüfling 30s bei 8 bar  r
                         fl
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                                                      E
                                                             u
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                                                      r
                                                       g
                                                          i
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                             f
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                           k
                              C
                        Druck auf C&C- -  V Visualisierung mi�els  s -    Ergebnis: Visuelle
                               &
                            a
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                                                            g
                                                       e
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                                                        r
                                        -


                                                             d
                                                        u
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                                                 s
                                                          ilu
                                               io
                                              x
                                                         e
                                           R
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                                                      Beurteilung des
                                                      B
                                          e
                                                         t
                                            e
                                           r
                                                               s
                                                              e
                                      DI
                                       C
                                      DIC- oder Reflexions-
                            o
                         o
                          e
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                           k
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                             p
                        K Kollektorpla�e     Mikroskopie  R Rückstands s
                          ll
                                                          k
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                                             o
                                           o
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                                                        ü
                                        M
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                                                         c
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                                            k
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                          p
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                          pressen n
                                           N a no - V e r un r e i n i g u n g s - M a sse ,   Pi e zo - g r a v i m e t r i sc h
                                           Nano-Verunreinigungs-Masse, Piezo-gravimetrisch
                            1 1            2 2            3 3            4 4             5 5
                                                                h
                                                                                        e
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                                                                                        g
                                                           un
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                                                        e
                                                               r
                                                                                          is
                                                    Verunreinigung durch              E Ergebnis: :
                                                    V
                                                             du

                                                     e
                                                                                       r
                                                                                         bn
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                                             un
                       c
                         w
                               e
                                                                        s
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                                                                            u
                                                                         t
                          i
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                                                                         a
                        h
                              z

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                                z
                                       V
                                 e
                                           in
                                         un
                       Schwingquarz gezielt  t    Verunreinigungs- -  R Rückstand auf  f
                                                                       c
                                           e
                                  l
                                          r
                       S
                                                                          nd
                                 i
                                                                       k
                           qu
                                        r
                                       e
                                                                      ü
                                                                                     e
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                                                                                          g
                                                                                         in
                                                                                        e
                                                                                             s
                                                                                    V
                                                                                            g
                                                                                      un
                                                                                          un
                                                                                        r
                                                      Wischsimulator
                        un
                           in
                                       Masse wiegen
                               (
                          e
                             e
                            ig
                                                                   Schwingquarz wiegen
                             n
                          r
                      v verunreinigen (Ölfilm) )  M a ss e   w ie g e n  W i s c h s i m u l a t o r    Sc h w in g qu a r z   w ie g e n  Verunreingungs- -
                                 m
                                l
                                fil
                               Ö
                        r
                       e
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                                                        n
                                                           n
                                                           r
                                                        e en�ernen n               M a ss e  ( a ls   Di ff e r e n z )
                                                                                   Masse (als Differenz)
                                                          e
                                  Dekontamina�onsgrad mi�els Zeta-Potenzial messen
                                  D e k o n t a m i n a � o n sg r a d   m i � e l s  Z e t a - P ot e nz i a l   m e ss e n
                            1 1            2 2            3 3            5 5
                                                         Z Zeta- -    Ergebnis: Iso- -
                                                           a
                                                           t
                                                          e
                                                                           :
                                                                       r
                                                                           I
                                                                        e

                                                                          i
                                                                            o
                                                                       g
                                                                            s
                                                                      E
                                                                        bn
                                                                          s
                                        r
                                 e
                            u
                               e
                             s
                         fl
                                        m
                                       P
                                             ä
                       r
                                          a
                                            it
                                           b
                       P

                                id
                         in
                                  n
                        ü
                              hn
                           z
                                              und

                             c
                                            il
                                              t
                                       e
                       Prüfling zuschneiden     Permeabilität und     Strömungspotenzial  l   elektrischer Punkt  t
                                          e
                          g
                                                                     le

                                                                         c
                                                        un
                                                              z
                                                                       r
                                                                           r
                                                     St
                                                                       t
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                                                               ia
                                                                              k
                                                          s
                                                             e
                                                          g
                                                              n
                                                                        is
                                                                          e
                                                       m
                                                            o
                                                                            P
                                                                     e
                                                      r
                                                           p
                                                                         h
                                                                      k
                                                       ö
                            M

                                l
                                             ie
                                            d
                               e
                               z
                                              n
                        und
                                le
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                                       Dr
                                        u
                                         k
                                           a
                                           r
                                          g
                              s
                        und in Messzelle     Druckgradienten     p pH-Wert abhängig     und Potenzial- l -
                             e
                          in

                              s
                                                n
                                               e
                                              t
                                                           bh
                                                                        P
                                                                         o
                                                                      und
                                                              g
                                                             ä
                                                               ig
                                                                          t
                                                             n

                                                           a
                                                         e
                                                      H
                                                         r
                                                                           n
                                                                            z
                                                       W
                                                                            ia
                                                       -
                                                          t
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                          in
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                                           e
                          e einbringen n  jus�eren n
                             g
                           b
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                                                        m e s s e n  Di ff e r e n z   z u   R e in s t o ff
                                                        messen
                                                                    Differenz zu Reinstoff
                                                         i
                                                          ,

                                                             k
                                                           e
                                                 Tex�l-Reinheit, elektrosta�sch h
                                                 T
                                                              t
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                                                   x
                                                  e
                                                     -
                            1 1            2 2            3 3            4 4             5 5
                                        r

                                           g
                                       P
                                       Prüfling bei 7 kV
                                          in
                                        ü
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                                             i

                                               V
                                               k
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                                           b
                                                                           e
                                                                      dun
                                                                          -
                                                                              r
                                                                         g
                                                                            it
                                                                                          i
                                                                             e
                                                                            w
                                                                         s
                                                                                      E
                                                                          Z
                                                                                        e
                                                                                       r
                                                                                        g
                                                                                         bn
                       T Tex�len Prüfling bei  i        P Prüfling auf  f   Entladungs-Zeitwert  t    Ergebnis: s :
                        e
                                                                      la

                                                          in
                            P
                                                         fl
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                                                                    n
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                                                                                          Z
                                                                                    n
                                                                                     t
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                                                                                     la
                                                                                            w
                                                                                              t
                                                                             60
                                                     N

                                                                                             e
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                                  n
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                                                                                         s
                      40
                                                                                      dun
                                                                                          -
                      40 % rel. H. 6 Stunden     a aufladen und durch       Nominalspannung     für die Dauer von 60s  s       Entladungs-Zeitwert

                                                                                           i
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                                      Wechselspannung
                                            p
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                       la n g   k o nd i � o n i e r e n  aufladen n   a aufnehmen n   in   P r o z e n t
                       lang kondi�onieren
                                                        u
                                                                                      in Prozent
                                                           e
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