Page 148 - Zur Reinheit funktionaler Oberflächen
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Entwicklung eines umweltschonenden Verarbeitungs-Pro-
                                                           zesses“
                                                       [4]   Shiue, A., Hu, S. C., Lin, C. H. and Lin, S. I. „Quantitative
                                                           Techniques for Measuring Cleanroom wipers with Respect
                                                           to Airborne Molecular Contamination“, 2011
                                                       [5]   Bürger, F., Gommel, U., Brückner, M., Käfer, S. - alle
                                                           Fraunhofer Institut IPA „Neue Pfade in der reinen Produk-
                                                           tion - Sicherheit beim Einsatz von Verbrauchsmaterialien“,
                                                           ReinRaumTechnik 4/2014, Wiley-VCH Verlag, Weinheim
                                                       [6]   Hinrichs, Karsten, Eichhorn, Klaus-Jochen „Ellipsometry of
                                                           Functional Organic Surfaces and Films“, 2nd Ed., Sprin-
                                                           ger-Series in Surface Sciences
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