Page 191 - Zur Reinheit funktionaler Oberflächen

Win Labuda

11. Elektronen-Mikroskop im PC-Format

beim Einsatz in der Reintechnik

Im Clear & Clean-Forschungslabor haben wir uns in jüngster
Vergangenheit mit dem Einsatz von Raster-Elektronen-Mikro-
skopen (REM‘s) mit reduzierter Proben-Aufladung beschäftigt.
In diesem Zusammenhang hatten wir die Feldemissions-
Geräte der Hersteller Zeiss, Jeol und Hitachi unter die Lupe
genommen. Diese Geräte weisen einen extrem hohen Bildge-
bungsstandard selbst bei hohen Vergrößerungen auf. Allein
der Anschaffungspreis und die hohen Unterhaltungskosten für
FE-REMs (FE = Field Emission) ließen uns - ein kleines HiTech-
Unternehmen - jedoch nach Alternativen suchen. Schon seit
einigen Jahren bieten Hersteller wie Hitachi und Nikon/Jeol
Tisch-REMs an, deren frühe Versionen uns jedoch noch nicht
ganz überzeugten.
Um unseren Kenntnisstand zu erweitern haben wir dann
entschieden, auch das Gerät von PhenomWorld aus Eindho-
ven zu testen. Wir sandten also einige Tücher nach Eindhoven
und trauten unseren Augen nicht, als wir schon am nächsten
Tag die Bilder unserer Proben auf dem Tisch hatten. Nicht
nur hatten die Holländer in 24 Stunden geliefert, sondern
die Bilder waren auch von überraschend hoher Qualität:
Sie zeigten keine Ladungs-Artefakte und unvermutet hohen
Mikrokontrast. Zudem ist die Standard-Software vielseitig
und sehr übersichtlich strukturiert. Wir brachten in Erfahrung,
dass das holländische Unternehmen PhenomWorld (gehört
zum Thermo Fisher Konzern) einige sehr versierte Entwickler
beschäftigt, die ehemals für FEI bzw. Philips gearbeitet hatten.
Das schienen uns gute Voraussetzungen für die Entwicklung
eines Raster-Elektronen-Mikroskops mit reduziertem Kammer-
Volumen, und demzufolge reduzierter Proben-Aufladung zu
sein.

Als deutscher Hersteller von Verbrauchsmaterial der Reintech-
nik, insbesondere von reinen und ultrareinen HiTech-Reini-
gungs-Tüchern und Elementen, stellen wir auch beschichtete,
partikelarme Papiere und Spezial-Handschuhe aus Polyure-
than-Vlies her. Unsere betrieblichen Visualisierungs-Aufgaben
liegen also in der Abbildung textiler Strukturen sowie der Topo-
graphie funktionaler Oberflächen und deren Verunreinigern.
Dazu setzen wir sowohl Licht- als auch Elektronen-, und wenn
erforderlich auch Atomkraft-Mikroskope ein. Im Bereich der
REM-Mikroskopie benutzen wir vor Allem Mikroskope die bei
Vergrößerungen bis 5000-fach hohen Mikrokontrast aufweisen

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