Page 275 - Zur Reinheit funktionaler Oberflächen
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chung, so dass es bei nachfolgender Berührung von Material-
Oberflächen zu Abschmiereffekten kommen kann.
Eine sinnvolle Prüfung der reintechnischen Qualität von
Schutzhandschuhen muss sich an in der Praxis auftretenden
Spitzen-Belastungen orientieren.
15.4 Aktuelle Prüfmethoden Aktuelle Prüfmethoden werden ab Seite 236 beschrieben.
15.5 Reinraum-Handschuhe und Wie vom Autor für das Produkt Reinraum-Reinigungs-Tücher
Elektrostatik eingehend beschrieben (Seite 81 ff.), zählen auch Schutz-
handschuhe zu dem ESD-kritischen Verbrauchsmaterial,
welches in Reinräumen Einsatz findet - bestehen sie doch aus
Kunststoffen und kommen ständig mit anderen Oberflächen in
Berührung. Außerdem bilden Handschuhe oftmals den Berüh-
rungspunkt, über welchen der elektrische Ladungsausgleich
einer Person erfolgt. Zu den HiTech-Produkten, welche im
Fertigungsprozess besonders durch Ladungen von Schutzhand-
schuhen gefährdet sind, gehören u. a. Wafer, Magnetköpfe und
Festkörper-Laser.
Bei Herausgabe dieser Arbeit (10-2017) können nach unserer
Erfahrung die Parameter triboelektrische Aufladung, (z. B.
erzeugt mit einem Fallschlitten nach Ehrler) und die Entla-
dungszeit als sinnvolle Parameter genutzt werden. Eine aus-
führliche Beschreibung der Methode findet sich in der Litera-
tur [4]. Der Parameter Oberflächen-Widerstand wurde von uns
als nicht zuverlässig erkannt und scheidet daher für unsere
Beurteilung der ESD-Eignung von Reinraum-Produkten aus. Es
scheint unumgänglich, dass alle mit ESD im Zusammenhang
stehenden Prüfungen stets in einer Klimakammer und immer
bei zum Beispiel 40 % relH und + 20 Grad Celsius und alterna-
tiv bei 25 % relH und + 20 Grad Celsius stattfinden.
Im Zusammenhang Reinraum-Handschuhe und ESD-Verhalten
haben Hartkopf, Heymann, Lehmann, Newberg und Welker
einen interessanten Beitrag geleistet, welcher ebenfalls die
Entladungszeit als wesentliches Prüfmerkmal anführt [3].
Es wurden Versuche mit den Entladungszeiten von Nitril-,
Latex- und PVC-Handschuhen unter verschiedenen Tragebedin-
gungen gemacht. Dabei wurde auch das Tragen von Unterzieh-
Handschuhen berücksichtigt. Die Ergebnisse sind nachstehend
zusammengefasst:
• Die Entladungszeiten nahmen ganz erheblich zu, wenn die
Versuchsperson kein geerdetes Ableitband trug. Kein Prüfling
konnte die in den HiTech-Industrien geforderten Entladungs-
zeiten ohne Ableitband (wrist-strap) erreichen.
• Die Entladungszeiten nehmen ab, wenn Nitril-Handschuhe
fertigungsgemäß chloriert wurden.
• Die Entladungszeiten von PC-Handschuhen veränder-
ten sich nicht in Abhängigkeit vom Umgebungsklima
(12 % : 50 % relH). Bei den Nitrilhandschuhen war die
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