Page 117 - Zur Reinheit funktionaler Oberflächen
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6.2.8 Massebestimmung durch Piezo- Folgende Experimente wurden mit der Piezo-Gravimetrie
Gravimetrie durchgeführt:
Experiment 1: Abgabe chemischer Rückstände aus dekon-
taminierten HiTech-Reinigungs-Tüchern zu ausgewählten
Objekt-oberflächen:
Wir wollten gern die Masse chemischer Rückstände bestim-
men, die beim Einsatz von dekontaminierten HiTech-Reini-
gungs-Tüchern im Trockenzustand auf Objekt-Oberflächen
übertragen wird. Dazu hatten wir mit unterschiedlichen
Tücherfabrikaten über die gereinigte Oberfläche des Quarz-
plättchens einer piezoelektrischen Waage gewischt. Anhand
der dadurch bewirkten Frequenz-Änderung lässt sich nach
G. Sauerbrey [2] díe eingetretene Masseveränderung errech-
nen. Es zeigte sich bei den Versuchen jedoch, dass die aus
bereits dekontaminierten Tüchern zur Oberfläche übertragene
Masse mit < 50 ng zu gering war, um plausible Datenserien
zu realisieren, aus denen sich irgendeine Gesetzmäßigkeit
ableiten ließ. Die auf den Schwingquarz übertragenen Massen
lagen bei den bereits dekontaminierten Tüchern im untersten
Messbereich der Quarzwaage und die Variations-Koeffizienten
der Messreihen schwankten zwischen 50 und 150 %.
Experiment 2: Vergleich der Reinigungswirkung der verschie-
denen HiTech-Reinigungs-Tücher:
Dieses Experiment sollte uns darüber Aufschluss geben wie
hoch die Masse ist, die sich beim Gebrauch unterschiedlicher
HiTech-Reinigungs-Tücher mittels mechanischer Tuch-Bewe-
gung von einer Öl-beschichteten Schwingquarz-Oberfläche
Reinigungs-Effektivität für drei verschiedene Tücher entfernen lässt. Für die Versuche hatten wir jeweils 12
über 5 Wischzyklen Reinraum-Tücher 6 unterschiedlicher Typen von drei konkurrie-
renden Herstellern ausgewählt (entsprechend Tab. 2). Bei der
Auswertung blieben jeweils die niedrigsten und höchsten Mess-
werte unberücksichtigt. In Abb. 22 sind einige Prüfergebnisse
aus den insgesamt 60 Messungen dargestellt.
Auch aufgrund dieser Ergebnisse zeigt sich einmal mehr, dass
die Reinigungs-Leistung der international angebotenen HiTech-
Reinigungs-Tücher im Verhältnis 1:3 variierte. Ähnliche Ergeb-
nisse hatten wir schon bei Versuchsreihen mit der Methode
Reinigungs-Effektivität nach Labuda erhalten.
(Anm.: Das heißt aber auch: Ein Einkäufer weiß nicht wie viel
Reinigungs-Leistung er fürs Geld einkauft. Hat er 10 % Rabatt
Abb. 22 Reinigungs-Effektivität verschiedenen HiTech- erstritten und das Tuch das er einkauft, hat eine Reinigungs-
Reinigungs-Tücher. Der Abtrag einer auf den Schwingquarz Leistung von lediglich 70 % des Vergleichsprodukts, dann
aufgebrachten Verunreinigung (Stanz-Öl Typ KTLN-16) mit bezahlt er dafür in Wahrheit viel mehr als zuvor.)
einer anfänglichen Masse von ca. 100 ng wurde mittels
Piezo-Gravimetrie bestimmt.
Maschenzahlen: Experiment 3: Vergleich der Reinigungswirkung beim Einsatz
2-1: 900 Maschen/cm² verschiedener Gemische aus DI-Wasser und IPA zur Tränkung
2-3: 540 Maschen/cm²
2-5: 380 Maschen/cm² der Tücher:
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