Page 118 - Zur Reinheit funktionaler Oberflächen

Reinigungs-Effektivität bei Befeuchtung Im Experiment 1 hatten wir den effektiven Chemikalien-Rück-
mit verschiedenen Gemischen stand aus einem HiTech-Reinigungstuch im Trockenzustand
Prüfling: 2-5
infolge des kontrollierten Wischens über eine trockene Objekt-
Oberfläche mit einer Rauigkeit von Rz < 3 µm bestimmt.
100%
Verunreinigungs-Rückstand 60% Trockenzustand für eine gezielt mit einer bestimmten Masse
Durch das Experiment 2 erhielten wir Aufschluss über die
Abreinigungs-Effektivität diverser HiTech-Reinigungs-Tücher im
80%
von Öl verunreinigte Objekt-Oberfläche.
Das Experiment 3 dieser Art soll uns nun über die Reinigungs-
40%
Effektivität diverser HiTech-Reinigungs-Tücher im Feuchtzu-
20%
C-91 % DIW -9 % IPA Aufschluss geben.
0%
0 1 2 3 4 5 stand (A-30 % DIW – 70 % IPA, B-70 % DIW – 30 % IPA,
Anzahl der Wischprozeduren (kein Tuchwechsel) Abb. 23 zeigt für ein Tuch (Code 2-5) die Reinigungs-Effektivi-
tät der oben genannten Mischungen (im Vergleich zur trocke-
trocken 70% IPA 30% IPA 9% IPA
nen Reinigung über 5 Wischzyklen)
Abb. 23 Reinigungs-Effektivität des Prüflings 2-5 bei
Befeuchtung mit verschiedenen Gemischen aus 2-Propanol
(IPA) und DI-Wasser. Der Abtrag einer auf den Schwing- Interessant ist, das nur die Mischung A 30 % DiW 70 % IPA
quarz aufgebrachten Verunreinigung (Stanz-Öl Typ KTLN- eine bessere Reinigungs-Effektivität zeigt wie das Trockentuch.
16) mit einer anfänglichen Masse von ca. 100 ng wurde Überraschend ist auch, dass der Zusatz von 9 % IPA zum
mittels Piezo-Gravimetrie bestimmt.
Wasser die Reinigungs-Effektivität massiv verschlechtert.
Reinigungs-Effektivität in Abhängigkeit von der Experiment 4: Der Einfluss der Bewegungsgeschwindigkeit
Wisch-Geschwindigkeit beim Wischvorgang:
Prüfling: 2-5
Im Rahmen dieses Experiments wollen wir etwas über die Aus-
wirkungen der Bewegungs-Geschwindigkeit beim wischenden
Reinigungsvorgang in Erfahrung bringen. Abb. 24 zeigt – bei-
spielhaft für das Tuch 2-5 die Abnahme der Verunreinigungs-
Rückstände für fünf verschiedene Wischgeschwindigkeit und
jeweils 5 Wischvorgängen.

Abb. 24 Reinigungs-Effektivität des Prüflings 2-5 bei ver-
schiedenen Wisch-Geschwindigkeiten. Der Abtrag einer auf
den Schwingquarz aufgebrachten Verunreinigung (Stanz-Öl
Typ KTLN-16) mit einer anfänglichen Masse von ca. 100 ng
wurde mittels Piezo-Gravimetrie bestimmt.

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