Page 223 - Zur Reinheit funktionaler Oberflächen

13.5 Einschränkungen Dieser Partikel-Kollektor hat - wie jedes andere Partikel-Beob-
achtungsgerät - seine Grenzen und diese sind in den folgenden
Bereichen zu finden:

Unebene Oberflächen: Da der Partikel-Kollektor eine gleichmä-
ßige Konstruktion hat, ist es nicht einfach, Partikel von einer
uneben geformten Oberflächen zu sammeln, wenn ihr Krüm-
mungsradius relativ zum Durchmesser der Kollektor-Platte
klein ist. Praxistests zeigen hier, was außerhalb der Möglichkei-
ten liegt.

Raue Oberflächen: Die vom Institut für Aerosoltechnologie
(Tab. 1) aufgenommenen Daten wurden von einer Silizium-
scheibe (Wafer) mit einer Oberflächenrauheit Rz unter 0,1 µm
erhalten. Es ist offensichtlich, dass ab einem bestimmten
Oberflächen-Rauigkeitsgrad die Anzahl der durch dieses Ver-
fahren aufzunehmenden Partikel tendenziell abnimmt. Sind
die „Täler“ der Oberfläche größer als die zu füllenden Partikel,
dann verhindern die „Gipfel der Berge“, dass die Kollekto-
Platte mit diesen Partikeln in Kontakt kommt. Dies trifft zu,
wenn die „Täler“ nicht ungewöhnlich lang sind.
Verminderte Haftung durch feuchte Oberflächen: Dieses Gerät
bindet Partikel durch Adhäsionskräfte zwischen der Kollektor-
Platte und den zu sammelnden Partikeln. Um die Haftfestigkeit
zu erhöhen, trägt die Kollektor-Platte dieser Vorrichtung von
sich aus eine Art Klebstoff, von dem eine sehr dünne Schicht
kontinuierlich die Oberfläche bedeckt, so dass die Partikel in
den Klebstoff eingebettet werden, was zu einer erheblichen
Zunahme der Bindungskräfte führt. Wenn die Teilchen jedoch
z. B. nur im nassen Zustand verfügbar sind, dann wird Wasser
als weitere Schicht um das Partikel in das System eingebracht,
die fast keine Bindungskraft für den Klebstoff aufweist und
daher das System dann nicht funktionieren kann.

Ultra saubere Oberflächen: Da während des Kontakts zwischen
diesen Oberflächen kleine Mengen des Klebstoffs, die der
Sammelplatte eigen sind, auf die zu analysierende Oberfläche
übertragen werden können, kann die Vorrichtung nicht zum
Analysieren solcher kritischer Oberflächen wie z. B. Silizium-
wafer und aller Gegenstände, die durch die Reste des Kleb-
stoffs beschädigt werden können, eingesetzt werden.

Zusammenfassend ist festzuhalten, dass diese Art von
Partikel-Kollektor für die Analyse von ebenen, trockenen
und relativ glatten Oberflächen geeignet ist, die nicht durch
ultradünne Klebstoffschichten beschädigt werden können. Es
kann unwichtige Einschränkungen geben, wie extreme Dichten
der Partikelbedeckung durch mehr als eine Staubschicht, sehr
heiße oder kalte Oberflächen, oder andere Begrenzungen, die
dem Autor bisher nicht bekannt waren.

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