Page 224 - Zur Reinheit funktionaler Oberflächen

Tatsächlich hat uns Bernhard Klumpp in seiner Dissertation
1993 eine Fülle wertvoller Informationen, Zusammenfassun-
gen und Literaturangaben zu den physikalischen und techni-
schen Aspekten der Messung von Partikeln auf Oberflächen,
unter Verwendung des optischen Mikroskops und Streulicht
hinterlassen. Zurzeit gibt es nicht viel zu seiner Erklärung
und seinen Erkenntnissen hinzuzufügen. Ein großer Teil der
These von Klumpp beschäftigt sich jedoch mit Partikeldurch-
messern um 1 µm, während sich der Autor hauptsächlich mit
Meso- und Makropartikeln sowie Faserfragmenten befasst. In
diesem Bereich spielen enge Toleranzen der Genauigkeit der
gewonnenen Daten keine große Rolle. Die durchschnittliche
Partikelgröße auf der Außenseite von Reinraumbekleidung liegt
beispielsweise nach einigen Tagen oft über 10 µm. Gleiches
gilt für Materialabrieb in der Ausrüstung von Reinräumen.
Auch Reinraum-Tücher hinterlassen nach dem Reinigen von
leicht rauen Oberflächen Partikel mit einer Größe von mehr als
10 - 50 µm. Dies gilt in geringerem Umfang auch für Latex-
und Vinylhandschuhe. Auch die Ränder einiger Reinraum-
Papiere tragen Partikel und Fasern von weit über 100 µm. Die
Hauptanforderungen hier sind:
• ein einfaches Verfahren zum Sammeln der Partikel,
Mikroben usw.
• eine sichere Transport-Möglichkeit der Probe an den Ort
der Analyse
• vergleichende Analyse und schneller Zugriff auf die
quantitativen Partikeldaten
13.6 Bildübertragung und Analyse Der hier beschriebene Partikel-Kollektor scheint gut geeignet,
die oben genannten Anforderungen zu erfüllen.

Zweckmäßigerweise werden die auf der Kollektor-Platte vor-
handenen Partikel oder Mikroben mit intensivem seitlichem
Licht oder Laserstrahl beleuchtet (Abb. 4). Ihr Streulicht hebt
sich dadurch sehr gut vor dem dunklen Hintergrund der Kollek-
tor-Platte ab. Es ist jedoch auch möglich, die Probe durch die
in der mikroskopischen Literatur hinreichend beschriebene

Mikroskop
Monitor
CCD-Kamera
Laser-Drucker
HA-
Leuchte

Computer
Abb. 4 Schema des Aufbaus zur mikroskopischen Be-
trachtung der Kollektor-Platte mit intensiver Streiflicht-
Beleuchtung

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