Page 225 - Zur Reinheit funktionaler Oberflächen

Dunkelfeld-Beleuchtung sichtbar zu machen. Für Mikroben gibt
13.7 Welt der Mesopartikel
es viele Möglichkeiten, sie mithilfe fluoreszenz-mikroskopi-
scher Methoden sichtbar zu machen, die unter Mikrobiologen
bekannt sind.
Die Elektronische Bildanalyse steht für die automatische
Zählung und / oder Formfaktoranalyse von Partikeln oder
Faserfragmenten zur Verfügung. Für die ersten Untersu-
chungen verwendete der Autor die in den USA entwickelte
Optimas-Software. Die folgenden interessanten Daten zu den
zu analysierenden Partikeln können aus dem mikroskopischen
Bild erhalten werden.
• Gesamtzahl
• 3D-Luminanz-Oberfläche
• Hauptachsenlänge
• längste Achse
• Äquiv. perimetrischer Durchmesser
• Feret-Durchmesser
• Oberflächen in µm 2
• maximale Breite
und viele mehr
Die Zeit, um die vollständigen Daten für jeden der 200 Par-
tikel - von der Öffnung des Kollektors bis zu den gedruckten
Daten - zu erhalten, beträgt etwa 1 bis 2 Minuten.
Es gibt nur ein einziges Reinheits-Merkmal, von dem perma-
nent Daten in den meisten Reinräumen abgerufen werden, und
dies ist die Reinheit der Luft. Reinraumingenieure sind stolz
darauf, wenn sie in einem Reinraum einen Luftreinigungsgrad
unter einem Partikel von> 0,5 µm pro Kubikfuß einhalten
können. Auf der anderen Seite werden große Mengen von
Partikeln in den Reinraum übertragen oder dort erzeugt, die
deutlich größer sind. Hauptquellen für die Erzeugung solcher
Partikel sind die dort tätigen Operator, die für die Produktion
verwendete Chemikalien, die im Betrieb befindlichen Geräte,
der Einsatz von Verbrauchsmaterialien wie Tücher und Hand-
schuhe usw., aber auch Kleidungsstücke und Schuhe. Ein
großer Teil dieser erzeugten oder übertragenen Teilchen hat
eine Größe von mehr als 0,5 µm.
Der Grund dass die gesamte Gruppe solcher Mesoparti-
kel sowie Makropartikel, uns weitgehend entgangen ist, ist
offensichtlich das Fehlen von Methoden für ihre mühelose
Auffindung und Messung. Dies liegt daran, dass das Hauptge-
rät zur Partikelzählung in der Reinraum-Industrie der Laser-
Partikelzähler ist und die meisten dieser Instrumente alle
Partikel mit einem Durchmesser von mehr als 10 µm ohne
weitere Differenzierung zählen. Der nachteilige Einfluss von
beispielsweise 120 µm-Partikeln für die Herstellung kann sich
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