Page 229 - Zur Reinheit funktionaler Oberflächen
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unser gesamtes Leben. Verbrauchsmaterial, das die Prozess-
Ausbeute mindert, gibt es praktisch nicht mehr. Es würde vom
Defect Engineering unverzüglich bemerkt und durch Höher-
wertiges ersetzt [1, 2]. Und ganz wesentlich: Das Verbrauchs-
material-Portfolio ist heute so vielfältig, dass nahezu jeder
Qualitäts-Anspruch der Anwender erfüllt werden kann (siehe
Abb. 1 und 2).
14.2.1 Nur eine kleine Minderheit Es ist nach 40 Jahren Vertriebs-Erfahrung lediglich eine kleine
Minderheit von Anwendern, die Probleme mit dem Einsatz
des weltweit angebotenen Reinraum-Verbrauchsmaterials
hatte oder hat. Ein Großteil von dem, was in dem vorliegen-
den Aufsatz geschrieben ist, betrifft denn auch vornehmlich
diesen kleinen Anwenderkreis. Daher ist der überwiegende Teil
der in diesem Aufsatz beschriebenen Mess- und Simulations-
Technik weder bei den bekannten Herstellern von Mikrochips
noch im normalen Pharma-Betrieb zu finden. Anders ist die
Situation hingegen in der internationalen Raumfahrt-Industrie
und bei der amerikanischen Space Agency NASA. Dort finden
sich gut ausgerüstete Laboratorien für die Qualifizierung
des Reinraum-Verbrauchsmaterials. Auch die Hersteller von
Lithografie-Systemen für die Hableiterfertigung widmen der
Oberflächen-Reinheit von Reinraum-Verbrauchsmaterial größte
Aufmerksamkeit. Aber davon gibt es eben weltweit nur ganz
wenige.
Die meisten Reinraum-Verbrauchsmaterial-Anwender verlas-
sen sich bei der Verbrauchsmaterial-Auswahl auf den Rat der
Hersteller und scheinen damit allgemein zufrieden. Tatsache
ist allerdings, dass es unseres Wissens weltweit nur ganz
wenige Hersteller gibt, die ein spezialisiertes, gut ausgestatte-
tes Qualitäts- und Prüflabor für Reinraum-Verbrauchsmaterial
unterhalten und außerdem technisch ausreichend ausgebildete
Mitarbeiter beschäftigen.
14.2.2 Komplexität der Reinigungs- Im Bereich HiTech-Reinigungs-Tücher bemerken wir mit kom-
Aufgaben plexer werdender Reinigungs-Aufgabe die folgende zuneh-
mende Wertigkeit des eingesetzten Verbrauchsmaterials:
1: Zellstoff-Vlies 2: Polyester-Zellstoff-Vlies 3: Polyester/Poly-
amid-Gestrick 4: Mikrofilament-Präzisions-Reinigungstuch. Die
beiden signifikanten Verbesserungs-Erwartungen der Anwen-
der sind: Geringere Freisetzung von Partikeln und filmischer
Verunreinigung. Erst danach rangieren in der Bewertungsskala
Parameter wie Flüssigkeits-Aufnahme, Reinigungs-Effektivität,
triboelektrische Aufladbarkeit etc. In diesem Bereich besteht
jedoch eine Widersinnigkeit: Während die Einkaufsstellen der
Anwender in den vergangenen Jahrzehnten immer günstigere
Preise für das Verbrauchsmaterial erzielt haben, fand die ein-
gekaufte Reinigungs-Effektivität desselben (Tücher, Stäbchen)
weniger Beachtung. Die Diagramme (Abb. 1 und 2) zeigen die
auffälligen Effektivitäts-Unterschiede international gehandel-
ter HiTech-Reinigungs-Tücher. Bei den Anwendern bemerken
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