Page 230 - Zur Reinheit funktionaler Oberflächen

normalerweise weder die Einkaufsstellen noch die Instand-
halter wenn ein Reinigungstuch das 10 % billiger eingekauft
wurde, eine 30 % geringere Reinigungs-Effektivität aufweist
als das Vorgänger-Produkt. Über den erhöhten Reinigungs-
Zeitaufwand steigt dann der effektive Preis pro Reinigungstuch
bis zum Mehrfachen des bisher bezahlten Geld-Betrags.

14.2.3.Verbrauchsmaterial-Markt in Um im Vorwege die Möglichkeit abzuschätzen neu erarbeitete
Zahlen Prüfmethoden auch international durchzusetzen, lohnt sich ein
Blick auf die geografische Verteilung der führenden Techno-
logiemärkte. Wenn diese Märkte keine neuen Prüf-Methoden
wollen, dann werden sie sich kaum durchsetzen lassen. Die
Bedarfsmengen-Steigerung beim Reinraum-Verbrauchsmaterial
hat im vergangenen Jahrzehnt im Wesentlichen in Asien statt-
gefunden [3]. Bis Ende 2015 ist der asiatische Verbrauchsma-
terial-Bedarf von 3,7 (2011) auf 4,6 Milliarden Dollar gewach-
sen. Nachdem für den europäischen und den US-Bedarf zum
gleichen Zeitpunkt nur jeweils 1,5 Milliarden Dollar prognosti-
ziert waren, ist kaum zu erwarten, dass die Asiaten ihre beste-
henden Qualitäts-Sicherungs-Systeme auf Basis der IEST-
Recommended Practices europäischen Vorstellungen opfern.
Dafür müsste es zumindest einen triftigen Grund geben, zumal
die Fertigungs-Ausbeuten der asiatischen Halbleiter-Industrie
bekanntermaßen oft nahe 100 % liegen. In solch einer kom-
fortablen Position spielt das Reinraum-Verbrauchsmaterial für
Reinraum-Betreiber eher eine untergeordnete Rolle.

14.2.4 Reinheit und Kontamination Reinheit ist gekennzeichnet durch dasjenige Maß an Kontami-
nation, dessen Überschreiten die Funktionalität eines Systems
beeinträchtigt [4] (Abb. 3). Daraus lässt sich die individuelle
Prozess-Bezogenheit jeglicher Reinheits-Systeme herleiten. Mit
dieser Hypothese verbinden wir die folgenden Variablen:
KM ges.
Prozess-bezogene Gesamt-Kontamination
KM spez.
Produkt-bezogene Kontamination
PA ges.
Prozess-Ausbeute
AM spez.
Produkt-bezogene Ausbeute-Minderung
(Dabei ist die Prozess-Ausbeute u. a. eine Funktion der
wirksamen Kontaminations-Menge. Weil sich die Gesamt-
Kontaminations-Menge aber aus unterschiedlichen Einzel-
Kontaminationen konstituiert, sind uns von den o. a. Variablen
messtechnisch gesehen bestenfalls die Kontaminations-Menge
und die Prozess-Ausbeute zugänglich.)

Reinigung, turnusmäßige Reinhaltung und Reinheits-Überwa-
chung haben in einer Fertigung unter Reinraum-Bedingungen
den Zweck, die optimale Prozess-Ausbeute zu sichern. Daher
könnte man zu dem voreiligen Schluss gelangen: Je reiner

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