Page 226 - Zur Reinheit funktionaler Oberflächen

jedoch vollständig von denjenigen von 10 µm unterscheiden.
Glücklicherweise spielen Meso- und Makropartikel zumindest
in der Halbleiter-Industrie keine wesentliche Rolle bei der
Entstehung von Defekten, die von Partikeln herrühren. Es ist
jedoch wichtig, dass wir uns in diesem Untersuchungsbereich
mehr Mühe geben, und der Partikel-Kollektor könnte dafür ein
wertvolles Instrument sein.

13.8 Beispiele Die Beispiele Abb. 5 bis 10 sollen mögliche Anwendungen des
Kollektors veranschaulichen.

Abb. 5 Kollektor-Platte nach dem Rei- Abb. 6 Reinraumtuch - In diesem Fall Abb. 7 Baumwolltuch - Es wurde das
nigen - gesehen vom elektronischen wurde der Partikel-Kollektor 5 Sekunden gleiche Sammelverfahren wie für das Rein-
Bildanalyseprogramm. Nach dem Reini- lang auf die Oberfläche eines Reinraum- raumtuch verwendet. Aufgrund der großen
gungsvorgang verbleiben 4 Partikel im tuches gedrückt und anschließend durch Anzahl von Partikeln und Fasern, die das
aktiven Kollektorabschnitt. Sie werden auf die elektronische Bildanalyse ausgewertet. elektronische Bildanalysesystem verfolgt,
dem Bildschirm des Monitors und in der Deutlich mehr Partikel (37 Stück) als auf ist der Unterschied zum Reinraumtuch
Diagrammregisterkarte 10 übersichtlich dem nebenstehenden Bild befinden sich Abb. 6 deutlich sichtbar. Es muss jedoch
dargestellt. Die Anzahl der auf der Kollek- auf der Kollektor-Platte. Aufgrund der erforscht werden, ob die Kollektor-Platte
tor-Platte verbleibenden Partikel ist der Platzverringerung für dieses Bild sind nicht schwach an den textilen Körper gebundene
„Grauwert“, der nach ordnungsgemäßer alle im Diagramm 9 erscheinenden Partikel Fasern und Partikel herausreißt, die sich
Verwendung des Kollektors von der Parti- hier zu sehen. im normalen Betriebsablauf nicht lösen
kelanzahl abgezogen wird. Der untersuchte würden.
Abschnitt der Kollektor-Platte für Abb. 5, 6
und 7 betrug 9 x 5,8 mm.

Abb. 8 Das Diagramm zeigt die Anzahl Abb. 9 Das Diagramm zeigt die Anzahl Abb. 10 Das Diagramm zeigt die Anzahl
und Flächengröße der Partikel, die in und Flächengröße der Partikel / Fasern, die und Flächengröße der Partikel / Fasern,
diesem Fall auf der gereinigten Kollektor- von der Oberfläche des Reinraumtuchs in die aus dem Baumwolltuch in Abb. 7
Platte verblieben sind. Die Anzahl der Par- Abb. 6 gesammelt wurden. Nach der VDI gesammelt wurden. Baumwolltücher sind
tikel, die auf der Platte verbleiben, wird als 2083-4-Spezifikation für die Oberflächen- praktisch aus Reinraum-Anwendungen
„Grauwert“ bezeichnet und variiert mit der Reinheit sind Fasern Partikel mit einer verschwunden. Das Diagramm soll nur
durch die Reinigung erzielten Oberflächen- Länge, die das 5-fache ihres Durchmessers den Unterschied zu einem Reinraumtuch
Reinheit. überschreitet. zeigen.

13.9 Anmerkung Der in diesem Dokument beschriebene „Partikel-Kollektor nach
Labuda“ ist unter der Marke PART-LIFT im Handel erhältlich.
Patente für das Gerät wurden in Europa und vielen Industrie-
ländern außerhalb Europas angemeldet.

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