Page 219 - Zur Reinheit funktionaler Oberflächen

Win Labuda

13. Druckabhängiger Partikel-Kollektor

Während die Erfassung der Anzahl von Partikeln oder Mikro-
ben, die in Flüssigkeiten und Gasen vorhanden sind, durch
eine Auswahl geeigneter Messverfahren zufriedenstellend
durchgeführt werden kann, besteht ein erhebliches Defizit
an Verfahren zum Identifizieren und Zählen von Partikeln,
Faserfragmenten und Mikroben auf Oberflächen. Mit Hilfe
des vom Autor entwickelten Partikel- und Mikroben-Kollek-
tors (Abb. 1) kann unter dem Mikroskop durch starke seitliche
Beleuchtung ein schnelles visuelles Verständnis des Vorkom-
mens von Partikeln, Mikroben und Faserfragmenten auf einer
,
Abb. 1 PART-LIFT Vorrichtung zur Erfassung des Parti- glatten und ebenen Oberfläche erreicht werden. Mit Hilfe der
kel- und Faserfragment-Belags auf Oberflächen geringer elektronischen Bildanalyse ist es auch möglich, eine auto-
Rauigkeit (Patent Labuda).
matische Zählung und Klassifizierung der Partikel von einer
relativ kleinen Größe bis zu einigen Millimetern durchzufüh-
ren - abhängig vom gewählten Mikroskop. Innerhalb weniger
Minuten ist es möglich, nahezu vollständige Informationen
über das Spektrum der Partikelablagerung auf einer ebenen
Oberfläche zu erhalten. Auf diese Weise wird ein Problem
gelöst, das bisher im technischen Reinraum zu vielen falschen
Annahmen geführt hat: Die meisten Partikelzähler für Luft
oder Flüssigkeiten unterscheiden nicht mehr zwischen Parti-
keln und Fasern mit einer Größe von 10 und 1000 oder mehr
µm. Auf diese Weise wird ein Korn mit einem Durchmesser
von 850 µm häufig unter der gleichen Klassifizierung wie ein
12 µm-Partikel registriert. Daher ist die Oberflächenkontami-
nation durch Mesopartikel, Makropartikel und insbesondere
durch Faserfragmente mit mehr als 10 µm im Allgemeinen
noch nicht sehr gut bekannt.

13.1 Mechanik und Bedienung Der zweiteilige Kollektor (Abb. 2) besteht aus einer verschließ-
baren Metallkapsel mit Gewinde. In der Mitte der Kapsel
befindet sich ein zylindrisches Federelement aus Weichschaum.
obere Abdeckung Auf der Oberseite des Federelements ist eine Kollektor-Platte
Kollektor-Platte
mit leicht haftender Oberfläche befestigt. Die Klebesubstanz
auf der Oberfläche der Kollektor-Platte ist selbstwiederher-
zylindrisches
Federelement stellend, so dass der Kollektor mehrfach verwendet werden
kann. Wenn der Boden der Kapsel mit der Kollektor-Platte für
mindestens 5 Sekunden gegen eine trockene und annähernd
Außen- ebene Oberfläche gedrückt wird, werden die lose daran haften-
gerändeltes Gewinde den Partikel, Fasern, Faserfragmente oder Mikroben von der
Gehäuse
Kollektor-Platte aufgenommen und verbleiben dort. Die obere
Abb. 2 Schema PART-LIFT-Kollektor Ebene der Kollektor-Platte hebt sich um einige Millimeter von

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