Page 252 - Zur Reinheit funktionaler Oberflächen

Umlenk-
Rollen 1-4
Walkdorn
2

Antrieb
und 1 3 Gewicht
Exzenter
4 Sonde

Partikel-
zähler
Abb. 17 Walksimulator Mark I Abb. 18 Prüfschema für den
nach Schöttle / Labuda Labuda-Walk-Test
nischer Arbeit zu simulieren. Dieses Simulationsmodell bildet
den mechanischen Vorgang des Knüllens und Faltens nach,
ohne dass es dabei jedoch zu unkontrollierten Abstands-
Veränderungen des Prüflings relativ zur Partikelsonde kommt,
wie es beim Gelboflex-System der Fall ist. Zudem geschieht all
dies bei Realitäts-konformem Energie-Eintrag. Auch bei dieser
Prüfmethode dürfen jedoch die Einflüsse von Materialfeuchte
und elektrischen Feldern auf die Partikel-Haftkräfte nicht unbe-
rücksichtigt bleiben.

14.3.22 Reinigungs-Tücher: Piezoelektri- C&C-Masse-Transfer-Test. (Abb. 19). Bestimmungs-Parameter
sche Wägung ist die Masse, die beim Einsatz von Reinraum-Tüchern aus
dem Tuch auf die Objekt-Oberfläche übertragen wird. Dazu
hatten wir mit unterschiedlichen Wischmittel-Konstruktionen
Rotations-
Werkzeug (Tüchern) kontrolliert über die reine Oberfläche des Schwing-
Tuch- quarz einer piezoelektrischen Waage gewischt. Anhand der
Prüfling dadurch bewirkten Frequenz-Änderung der Waage lässt sich
Gummi die Masseveränderung errechnen. Es zeigte sich bei den Versu-
chen jedoch, dass die aus dem Tuch auf den Kristall übertra-
gene Masse mit < 50 ng zu gering war, um plausible Daten
zu erzeugen. Die auf den Schwingquarz übertragenen Massen
Piezo-Kristall Verunreinigung lagen im untersten Messbereich der Quarzwaage und die
Variations-Koeffizienten der Messreihen schwankten zwischen
Abb. 19 Prüfschema: Piezoelektrische Wägung des Masse- 50 und 150 %.
Transfers-Test vor und nach einer Verunreinigung.

Abb. 20 C&C-Transfer-Test: Filmische Kon- Abb. 21 C&C-Transfer-Test: Filmische Abb. 22 C&C-Transfer-Test: Filmische
tamination Reinraum-Tuch DC-MU-EC Kontamination Reinraum-Tuch UT-V Kontamination Reinraum-Tuch DC-SM

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