Page 257 - Zur Reinheit funktionaler Oberflächen
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Reinraum-Tücher verbraucht. Das sind 330 Tücher pro Tag.
Von diesen werden insgesamt 33000 Partikel freigesetzt. Das
entspricht: 0,033 MPart > 0,5 µm/24h entsprechend 0,36 %
der Gesamt-Partikelmenge von 8,8 GPart, die den Reinraum
innerhalb von 24h passiert.
Addieren wir die Prozentanteile der Posten Mensch und
Bekleidung, Reinraum-Handschuhe und Reinraum-Tücher
an der Gesamt-Partikelmenge die den Reinraum passieren
dann kommen wir zum Ergebnis, dass Mensch und Beklei-
dung zusammen 54 % zum Partikel-Aufkommen im Reinraum
beitragen. Die Material-Gruppen Handschuhe und Reinigungs-
Tücher zusammen genommen tragen jedoch lediglich 1,9 %
bei.
14.4.5 Fazit Knapp 55 % der Partikelfreisetzung in einem Reinraum der
Klasse ISO 4 wird von den dort arbeitenden Menschen und
ihrer Bekleidung freigesetzt. Die Partikelfreisetzung von den
Reinraum-Verbrauchsmaterialien Handschuhe und Reinigungs-
Tücher ist mit insgesamt < 2 % vernachlässigbar gering.
All dies ist gerechnet unter der Annahme dass der zugrunde
gelegte Reinraum lediglich mit einer Partikellast von 20 % der
maximal zugelassenen Partikelgrenzlast betrieben wird.
Die Reinräume der Halbleiter-Industrie gehören - über alle
Branchen gesehen - zu denen mit der höchsten Luftreinheit.
Es ist also gerechtfertigt anzunehmen, dass in den meisten
Reinräumen anderer Branchen die Partikelbelastung der
Reinraum-Atmosphäre höher ist als im o. a. Beispiel angeführt.
Das bedeutet: Der Prozentsatz der Partikelbelastung durch den
Einsatz des Reinraum-Verbrauchsmaterials verringert sich mit
zunehmender ISO-Reinraumklasse um jeweils eine Zehner-
potenz. Damit ist die Aussage der Autoren Bürger, Gommel,
Brückner und Käfer von Fraunhofer-IPA widerlegt, zumindest
jedoch gravierend in Frage gestellt.
14.4.6 Reinraum-Verbrauchsmaterial Reinraum-Verbrauchsmaterial-Hersteller sind hauptsächlich
ist nur bedingt Spezifizierungs- und „Converter“. Das sind Unternehmen, die das Produkt einer
Zertifizierungs-tauglich großtechnischen Produktion wie Vliesstoff-, Gestrick-, Gewebe-
oder Papier-Großrollen in kleinere, handgerechte Einheiten wie
Tücher, Blätter oder Kleinrollen „konvertieren“, das bedeutet
4-stufig bearbeiten. Die vier Fertigungsstufen für die Techni-
ken des Reinen Arbeitens sind: Formatieren, Dekontaminie-
ren, Prüfen und Verpacken. In Tab. 3 ist der Fertigungsfluss
einiger Reinraum-Verbrauchsmaterialien vom Basis-Material
über die Roh-Material-Fertigung bis hin zum Converter-Betrieb
Branchen-überquerend aufgezeigt. Dabei wird deutlich, dass
sich bestimmte Inhalts-Stoffe aus den Fertigungs-Stufen I
und II bereits im Material befinden, wenn dieses beim Con-
verter angeliefert wird. Für solche Produktgruppen ist eine
Spezifizierung/Zertifizierung dann prinzipiell nicht nötig
wie z. B. bei Verpackungsfolien oder nicht möglich wie bei
Vliesstoff-Tüchern.
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