Page 249 - Zur Reinheit funktionaler Oberflächen
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Messreihen bei verschiedenen Konditionierungen der Prüflinge
feststellen, ob sich die relative Umgebungsfeuchte auf die
elektrische Oberflächenladung der Handschuhfolie und somit
die Partikelfreisetzung auswirkt bzw. ob sich im Tragezustand
der Handschuhe überhaupt eine Oberflächenladung aufbaut.
Einige typische Messergebnisse zeigt Abb. 12.
14.3.17 Prüfung der Gebrauchs-Partikel- Ziel jeder wischenden Reinigungs-Prozedur ist die Herbeifüh-
Abgabe von Reinigungs-Tüchern rung eines System-kompatiblen Reinheitszustands der Objekt-
Oberflächen. Dabei entsteht aber gleichzeitig ein (relativ
geringfügiger) Verunreinigungs-Zuwachs auf der Objekt-
Oberfläche durch die Inhaltsstoffe des Reinigungstuchs. Das
sind zumeist Partikel, Spinfinish-, Tensid-und Lösungsmittel-
Rückstände aus den Fertigungs-Hilfsstoffen der Spinn- oder
Strickprozesse. In vielen Fällen beeinträchtigt der verbleibende
Verunreinigungs-Rückstand auf der Oberfläche deren Funktio-
nalität nur wenig oder gar nicht. In anderen Fällen schränkt er
sie jedoch deutlich ein. Dies kann beispielsweise bei manchen
Systemen der Optik, Elektronen-Optik und Lasertechnik aber
auch bei den Plasma-Ätzsystemen der Halbleiter-Fertigung,
den Fertigungsverfahren der Klebetechnik und bei der Ferti-
gungsvorbereitung für automatische Lackierverfahren der Fall
sein.
Ein großer Teil von Reinigungs-Tüchern wird im teilbefeuch-
teten Zustand eingesetzt - wenn nämlich vor der Reinigungs-
Durchführung auf die Mitte des Tuchs ein Lösungsmittel
aufgegeben wird. Ein vermutlich ebenso großer Teil der Tücher
wird bereits im Lösungsmittel-getränkten Zustand angeliefert
(Feuchttücher). Lediglich ein geringer Teil der Reinraum-Tücher
wird z. B. zum wischenden Entfernen von Flüssigkeits-Lachen
im Trockenzustand eingesetzt. Nach einer Feuchtreinigung
verbleiben auf der Objekt-Oberfläche andere Partikelmen-
gen [29] als nach einer Trockenreinigung oder auch als beim
Trockenwischen von Objekt-Oberflächen. Keine der weiter
unten beschriebenen Prüfmethoden ist geeignet, die erwähn-
ten Einflüsse auf den jeweiligen Reinheitszustand der Objekt-
Oberfläche zu simulieren. Es sollte also möglichst diejenige
Prüfmethode ausgewählt werden, die den höchstmöglichen
Aufschluss über den Erfolg der jeweiligen Reinigungs-Prozedur
verspricht. Leider stehen wenige brauchbare und gleichzeitig
bezahlbare Messgeräte für die Bestimmung von partikulärer
Oberflächen-Reinheit zur Verfügung. Bisher hilft man sich
durch die Bestimmung der Partikelmenge, die durch diverse
Simulations-Methoden aus dem Tuch freigesetzt und sodann
quantitativ bestimmt wird. Leider sind diese Methoden jedoch
zumeist nicht realitätskonform. Finden sich doch auf einer
sorgfältig gereinigten Glasplatte nurmehr wenige Partikel pro
cm². Bei der Prüfmethode IEST RP-CC004.3 messen wir hinge-
gen Millionen.
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