Page 89 - Zur Reinheit funktionaler Oberflächen

• Reinraum-Reinigungs-Tücher, welche im Lösungsmittel-
5.5 Reinraum-Papier
getränkten Zustand eingesetzt werden, sind oft nur teilweise
getränkt. Die trockenen Flächenanteile der Tücher haben die
Ladungseigenschaften trockener Tücher (Abb. 23). Diese Tat-
sache sollte in jedem Operator-Training vermittelt werden.
• So genannte Antistatik-Tücher, welche mit filmbildenden
Polymerdispersionen ausgerüstet sind, sollen im Reinraum-
betrieb nicht eingesetzt werden.
• Langsames Wischen ergibt höhere Ladungs-Spannungen als
schnelles und nicht umgekehrt (Tab. 3).
• Triboelektrisch geladene Oberflächen lassen sich oftmals mit
einem Isopropylalkohol-Di-Wasser-getränkten Tuch entladen.
Gelegentlich kommt es vor, dass die Betreiber von Kopiergerä-
ten oder Druckern aufgrund elektrischer Ladungen des Papiers
Probleme mit dem einwandfreien Papiertransport im Drucker
haben. Das Phänomen zeigt sich insbesondere in den Winter-
monaten, wenn die Räume beheizt werden und die Luftfeuch-
tigkeit gering ist. Doppel- oder Mehrfacheinzüge und Staus
beim Druckvorgang sind die unangenehmen Folgen der Tro-
ckenheit. In reinraumgebundenen Fertigungsräumen werden
die Kopierer oder Drucker auch manchmal im klimatisierten
Umfeld bei nur etwa 38 % rel. Feuchte eingesetzt. Dort wird
in den Druckern ausschließlich Reinraum-Papier verarbeitet.
Es gibt bedeutsame Unterschiede zwischen Standard-Kopier-
papier und Reinraum-Papier. Diese machen Reinraum-Papiere
prinzipiell anfälliger für Papierstaus in trockener Umgebung.
Wenn man die technischen Zusammenhänge kennt, kann man
jedoch sinnvolle Gegenmaßnahmen treffen.
Absoluten Vorrang im Anforderungsprofil von Reinraum-Papier
haben für den Reinraum-Ingenieur einer Halbleiter-Fertigung
die folgenden Parameter:
• geringe Partikelfreisetzung und damit automatisch
• geringe Ionenfreisetzung
Es muss in diesem Zusammenhang stets beachtet werden,
dass für die Bestimmung der Gebrauchsgüte von Reinraum-
Verbrauchsmaterial nicht dessen Inhaltsstoffe wesentlich sind,
sondern das Maß seiner gebrauchsbedingten Freisetzung [8].
Das bedeutet in der Praxis: Nicht der Ionengehalt eines
Reinraum-Papiers ist kritisch für die Anwendungspraxis,
sondern die Freisetzung von Ionen beim Einsatz desselben.
Diese erfolgt jedoch fast ausschließlich im Rahmen der Parti-
kelfreisetzung. Von größter Bedeutung ist es also bei Produk-
tions-Prozessen, welche durch ionische Kontamination negativ
beeinflusst werden können, schnittkanten-dekontaminiertes
Reinraum-Papier einzusetzen. Die nachstehenden Merkmale
sind normalerweise untergeordnet aber nicht unwichtig:
• geringe Triboelektrizität
• hohes Maß an Tonerhaftung
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