Page 92 - Zur Reinheit funktionaler Oberflächen

solche Papiere, die weniger ionenarm, jedoch an den Schnitt-
kanten dekontaminiert sind.

5.5.2 Farbige Reinraum-Papiere Reinraum-Papiere werden hauptsächlich als Laufprotokolle bei
der Herstellung von Halbleitern oder Pharmazeutika einge-
setzt. Eine weitere Anwendung ist die Anfertigung reinraum-
tauglicher Kopien von Betriebshandbüchern für im Reinraum
1000
Na Si P S Cl K aufgestellte Maschinen und Apparate. Manche Anwender
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714 bevorzugen die farbliche Markierung einzelner Seiten oder
Counts 571 Kapitel innerhalb der Protokolle und setzen daher verschieden-
farbige Papiere ein. Solche Papiere müssen bei der Papier-Her-
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286 stellung in der Bütte angefärbt werden. Für das Anfärben gibt
143 es Farben, welche Metallionen enthalten und relativ lichtecht
0
0 1000 2000 3000 4000 5000 6000 7000 8000 9000 sind und solche die weniger Ionen enthalten und weniger
Energie [eV]
lichtecht sind.
Abb. 30 Reinraum-Papier in 2 % NaCl-
Lösung getaucht und getrocknet (EDX- Wie bereits aufgeführt, ist der Ionengehalt von Papieren für
Analyse). den Einsatz in der Halbleiter-Fertigung prinzipiell unkritisch,
solange sich von dem Papier keine Partikel lösen, welche dann
die Metall-Ionen in die Fertigungs-Umgebung hinein transpor-
tieren. Allgemein betrachtet sollte der Einsatz verschiedenfar-
biger Papiere jedoch schon deswegen vermieden werden, weil
er zur Vermehrung von Lagerpositionen führt und eigentlich
nicht nötig ist. Die Auffindbarkeit bestimmter Seiten im Lauf-
protokoll funktioniert auch ohne farblich markierte Seiten.

5.5.3 Zusammenfassung Reinraum- • Bei gleichen klimatischen Bedingungen konnten innerhalb
Papier der verschiedenen Fabrikate erhebliche Unterschiede der
Impuls-Abklingzeit festgestellt werden. Gründe dafür sind
unterschiedliche Dichte, Oberflächen-Beschaffenheit, Poly-
merauftrag und ionische Papier-Bestandteile.
• Wird ein Standard-Reinraum-Papier kurzzeitig in einer
0,1 %-igen NaCl-Lösung gebadet und anschließend getrock-
net, so sind Ladungshöhe und Abklingzeit erheblich geringer
als bei dem ungebadeten Standard-Reinraum-Papier.
• Die Ladungseigenschaften der wichtigsten, weltweit am
Markt befindlichen Reinraum-Papiere variieren untereinan-
der deutlich, aber in geringerem Maße als bei Reinigungs-
Tüchern. Die Ladungshöhe, gemessen mit Fallschlitten nach
Ehrler, variiert zwischen dem Papier mit der größten im
Verhältnis zu dem mit der geringsten Ladungsneigung im
Verhältnis 1:3. Für die Impuls-Abklingzeit ist das Verhältnis
etwa 1:5.

5.6 Anmerkung und Dank Der 1. und 3. Teil dieses Aufsatzes sind Neubearbeitungen der
Arbeit „Triboelektrische Effekte beim Einsatz von Reinraum-
Tüchern und Papier“ von Win Labuda, erschienen im VDI-
Tagungsband der VDI-Tagung „Reinraumtechnik 1997 – Quali-
fizierung und Überwachung – Reinraum und Reinstmedien“ in
Fulda.

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