Page 163 - Zur Reinheit funktionaler Oberflächen

7.16 Dank Der Autor dankt Herrn Klaus Schöttle für die konstru-
tive Umsetzung seiner Ideen in ein funktionsfähiges Prüf-
Instrumentarium. Herrn Sven Siegmann dankt er für die
sorgfältige Durchführung der umfangreichen Laborarbeiten.
Der Systektum GmbH gilt unser Dank für eine vorbildliche
Gerätewartung.

• REM-Abbildungen © Yuko Labuda

7.17 Literatur [1] Bublitz, Hohmann - „Zeitintegrierende, Laserinduzierte
Fluoreszenz-Spektroskopie, Effiziente Inline-Oberflä-
chen-Analyse“ (Vortrag Dr. Jens Bublitz, während der
Oberflächentage 2008 des ZVO, Zentralverband Oberflä-
chentechnik e. V. in Würzburg. Dr. Jens Bublitz ist Enwick-
lungsleiter bei der Systektum GmbH in Flensburg)
[2] Investor-Center Ostbrandenburg, Internet-Information:
ICOB: Mikroelektronik: Arbeitskräftepotenzial.

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