Page 166 - Zur Reinheit funktionaler Oberflächen

und bildmäßig zu speichern. Dabei handelt es sich um die
1 vierte vom Mitautor Win Labuda vorgestellte Prüfmethode für
2 3 4 Präzisions-Reinigungs-Tücher. Anhand von 14 vorliegenden
Reinigungs-Tüchern unterschiedlicher Fabrikate, Materialien
und Ausführungen wurde untersucht, ob diese unter gleichen
Einsatzbedingungen verschiedene Mengen an Flüssigkeits-
5 Rückstand auf der Oberfläche zurücklassen. Es wurde auch
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untersucht, ob ein Zusammenhang zwischen Flüssigkeits-
1 pneumatischer Linearmotor (bidirektional) Rückstand und Tuchkonstruktion besteht. (Die Ergebnisse von
2 Standard-Gewicht mit Prüfling (Reinigungstuch) Untersuchungen des Einflusses der chemischen Ausrüstung
3 Flüssigkeitslache (evtl. gefärbt)
4 transparente Platte unterschiedlicher Tücher bleiben einem weiteren Aufsatz
5 mechanischer Mitnehmer für Kamera vorbehalten.)
6 Video-Kamera auf Schlittensystem
Durch Veränderung einzelner Bewegungsparameter des Wisch-
Abb. 2 Linear-Wischsimulator Mark II nach Labuda
(Schemazeichnung) vorgangs sollte auch in Erfahrung gebracht werden, welchen
Einfluss die Modulation der Wischbewegung (Richtung und
Geschwindigkeit) auf den Flüssigkeits-Rückstand hat. Dies gilt
auch für den Einsatz unterschiedlicher Prüfoberflächen, z. B.
Edelstahlflächen oder Glasflächen.

Bei der Edelstahl-Oberfläche wurde apparateseitig ein zu
14 Untersuchungszwecken entfernbarer Ausschnitt vorgesehen,
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Rückstandsmenge in % 10 8 6 benutzt werden kann, um ultra-dünne Restkontaminationen
welcher für mikroskopische und ellipsometrische Analysen
nachzuweisen, die erst durch den Wischvorgang, und teilweise
aus dem Reinigungstuch, auf die Oberfläche gelangen. Der für
diese Untersuchungen eigens entwickelte Linear-Wischsimu-
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lator Mark II (Foto Abb. 1, schematische Darstellung Abb. 2)
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besteht im Wesentlichen aus einem pneumatisch betätigten
0 Antrieb, welcher ein Standardgewicht der Masse von 1000
1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14
Reinigungstücher verschiedener Hersteller Gramm waagerecht über eine auswechselbare Prüfoberfläche
bewegt, ohne zusätzliche senkrecht wirkende Kräfte auf diesen
auszuüben. Insofern ähnelt er dem 1996 von Win Labuda
Abb. 3 Flüssigkeitsrückstand (DI-Wasser) nach 1x Wischen vorgestellten Wischsimulator Mark I, ist jedoch u. a. mit einer
in % der Ursprungsmenge (Lache)
breiteren Prüffläche versehen. Das zu untersuchende Tuch ist
unterhalb des Handflächen-ähnlich ausgeführten Standardge-
Kenn-Nr. textiles Material Rückstands-Menge
in % wichts befestigt und lässt sich in drei einstellbaren Geschwin-
1 Mikrogestrick 0,900 digkeiten (10, 25 und 50 cm/s) über die jeweilige Prüfober-
2 Mikrogestrick 0,974 fläche bewegen.
3 Viskose-Vlies 0,988
4 Feingestrick 1,626 Die Prüfoberfläche aus wahlweise Edelstahl, Glas oder einem
5 Mischvlies PES/ WP 2,198 beliebigen anderen Material beliebiger Oberflächenrauig-
6 Viskose-Vlies 2,552 keit wird dazu in die vorgesehene Aufnahmevorrichtung des
7 Polyamid-Vlies 2,964 Simulators eingesetzt. Zur Bestimmung des Flüssigkeits-
8 Polyamid-Vlies 4,956 Rückstands nach dem Wischvorgang wird die definierte Menge
9 Standard-Gestrick 5,924 eines Lösungsmittels bei definiertem Lachen-Durchmesser auf
10 Mischvlies PP/Visk. 5,939 die Prüffläche unmittelbar vor das Reinigungstuch gegeben
11 Standard-Gestrick 6,510 (Abb. 4), und das zuvor gewogene Reinigungstuch wird dann
über diese Flüssigkeitslache hinweg bewegt. Nach Durchfüh-
12 Standard-Gestrick 7,651 rung des Wischvorgangs ist ein Teil der Flüssigkeit vom Reini-
13 Standard-Gestrick 8,402 gungstuch aufgenommen worden. Der Flüssigkeits-Rückstand
14 Standard-Gestrick 11,980
verteilt sich auf der mit dem Reinigungstuch bestrichenen
Tab. 1 Tabelle zu Diagramm Abb. 3 Prüfoberfläche und bildet die typischen Flüssigkeitsschlieren

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