Page 17 - Zur Reinheit funktionaler Oberflächen

dass im Bereich textiler Verbrauchsmaterialien hoher Materi-
alreinheit auch für den späteren Einsatz in den Reinräumen
der Halbleiterindustrie ein weltweiter, großer Markt entstehen
würde. Mitte der achtziger Jahre erhielt Labudas Clear & Clean
GmbH dann vom Siemens Halbleiterwerk in Regensburg den
Auftrag für die langfristige Belieferung der Megabit Waferfab
Regensburg mit Hightech-Wischmitteln. Die Bestellung war
allerdings an die Bedingung der Errichtung einer laufenden
Qualitätsüberwachung durch Clear und Clean mit einem von
Siemens gerätetechnisch vorgegebenen Prüfinstrumentarium
geknüpft. Die aus dieser Vorgabe erwachsene Verpflichtung
zur Aneignung und Dokumentation spezieller Material- und
Fertigungskenntnisse führte letzten Endes zur Gründung des
Clean & Clean-Forschungslabors im Jahr 1990.

Win Labuda war Mitte der achtziger Jahre für uns von der
Halbleiter-Industrie der rechte Mann zur rechten Zeit. Er
brachte die Erfahrung in der Herstellung technischer Tex-
tilien mit, war ein hoch engagierter Produktentwickler und
bereit, uns die Entwicklung der komplizierten Prüftechnik für
Reinheits-basierte Textilprodukte abzunehmen. Die gab es bei
uns in der Halbleiter-Branche nicht und in die wollten wir auch
nicht investieren. Eines der Anliegen von Labuda war - insbe-
sondere auch im Rahmen der Gremienarbeit - die Entwicklung
praxisnaher Simulationsmethoden im Sinne realitätsorien-
tierter Produktprüfung. Akzeptierte Standard-Prüfmethoden
erwiesen sich immer wieder als praxisfremd: So ist es bei der
Bewertung eines HiTech-Reinigungstuchs weniger wichtig,
wie viele Partikel sich bei Anlieferung im Tuch befinden. Es ist
hingegen sehr wichtig, zu wissen, wie viele davon am Ende
auf der gereinigten Objektoberfläche verbleiben und diese
kontaminieren.
In den vergangenen 40 Jahren hat Labuda 40 Fachaufsätze
publiziert und ungezählte Vorträge gehalten. Seit Beginn der
Zweitausender Jahre hat er die Schwerpunkte seiner For-
schung auf die Oberflächenreinheit, die Physik der wischenden
Reinigungsprozedur und die chemischen Prozesse der Dekon-
tamination textiler Werkstoffe gelegt. Das vorliegende Buch,
das er nun pünktlich zu seinem 85. Geburtstag vorstellt, ist
Labudas ‚opus magnum‘. Es enthält einen reichen Wissensfun-
dus aus 50 Jahren aktiv gelebter Reintechnik und Reinheitsfor-
schung zugleich. In diesem Sinne ist das Werk eine sinnfällige
Ergänzung zu dem VDI-Standardwerk „Reinraumtechnik“ von
Gail/Gommel und ein bedeutender Beitrag zur Reinraumtech-
nik schlechthin.

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