Page 303 - Zur Reinheit funktionaler Oberflächen
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25 nm 60 nm 60 nm
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0 µm 4,84 µm 0 µm 12,8 µm 0 µm 8,12 µm
Abb. 17 Diagramm:Reinraum-Gestrick Abb. 18 Diagramm: Acrylglas-Reinigung, Abb. 19 Diagramm: Acrylglas-Feucht-
Oberflächen-Zerstörung Riefenbildung durch mehrfach benutztes Reinigung, tiefere Riefen durch Feucht-
Polyestertuch Reinigung?
18.5 Vermeidung von Riefenbildung Um die Riefenbildung beim wischenden Reinigungsvorgang zu
vermeiden bieten sich mehrere Möglichkeiten:
• die Einweg-Anwendung des Tuchs, so dass zuvor aufgenom-
mene Partikel oder Fragmente die Oberflächen beim folgen-
den Wischvorgang nicht beschädigen können.
• das 4-fache nach-innen-Falten des Tuchs, so dass es nicht
zur Berührung zwischen Tuchkante und Substratoberfläche
kommen kann (entsprechend Abb. 20 oder 21).
• die Wahl eines Reinigungstuchs dessen Material-Ritzhärte
deutlich geringer ist als die des aktiven Reibpartners.
Wesentlich bei der Vermeidung von Riefen und Kratzern ist die
Abb. 20 Tuch-Faltmethode: „vierfach bewusste Vermeidung von Kontakten zwischen Tuch-Rändern
oben“,die Tuchkanten berühren die Ober- und Objekt-Oberfläche beim Reinigungsvorgang.
fläche nicht
Es kommt jedoch hinzu dass Reinraum-Tücher aus hoch textu-
rierten Garnen weniger zur Riefenbildung neigen als solche aus
gering texturierten Garnen. Gestricke sind daher für die Her-
stellung von Tüchern für die Reinigung kritischer Oberflächen
besser geeignet als Gewirke und wenn die Partikelstreuung
nicht von großer Bedeutung ist, dann sind auch Vliesstoffe aus
weichem Viskosematerial gut geeignetes Material zur Vermei-
dung von Riefenbildung.
Abb. 21 Tuch-Faltmethode: „vierfach
seitlich“, die Tuchkanten berühren die
Oberfläche nicht
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