Page 303 - Zur Reinheit funktionaler Oberflächen
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25 nm                            60 nm                          60 nm








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              0 µm                    4,84 µm  0 µm                    12,8 µm  0 µm                   8,12 µm
           Abb. 17 Diagramm:Reinraum-Gestrick   Abb. 18 Diagramm: Acrylglas-Reinigung,   Abb. 19 Diagramm: Acrylglas-Feucht-
           Oberflächen-Zerstörung           Riefenbildung durch mehrfach benutztes   Reinigung, tiefere Riefen durch Feucht-
                                            Polyestertuch                   Reinigung?
           18.5 Vermeidung von Riefenbildung           Um die Riefenbildung beim wischenden Reinigungsvorgang zu
                                                       vermeiden bieten sich mehrere Möglichkeiten:
                                                       • die Einweg-Anwendung des Tuchs, so dass zuvor aufgenom-
                                                         mene Partikel oder Fragmente die Oberflächen beim folgen-
                                                         den Wischvorgang nicht beschädigen können.
                                                       • das 4-fache nach-innen-Falten des Tuchs, so dass es nicht
                                                         zur Berührung zwischen Tuchkante und Substratoberfläche
                                                         kommen kann (entsprechend Abb. 20 oder 21).
                                                       • die Wahl eines Reinigungstuchs dessen Material-Ritzhärte
                                                         deutlich geringer ist als die des aktiven Reibpartners.

                                                       Wesentlich bei der Vermeidung von Riefen und Kratzern ist die
           Abb. 20 Tuch-Faltmethode: „vierfach         bewusste Vermeidung von Kontakten zwischen Tuch-Rändern
           oben“,die Tuchkanten berühren die Ober-     und Objekt-Oberfläche beim Reinigungsvorgang.
           fläche nicht
                                                       Es kommt jedoch hinzu dass Reinraum-Tücher aus hoch textu-
                                                       rierten Garnen weniger zur Riefenbildung neigen als solche aus
                                                       gering texturierten Garnen. Gestricke sind daher für die Her-
                                                       stellung von Tüchern für die Reinigung kritischer Oberflächen
                                                       besser geeignet als Gewirke und wenn die Partikelstreuung
                                                       nicht von großer Bedeutung ist, dann sind auch Vliesstoffe aus
                                                       weichem Viskosematerial gut geeignetes Material zur Vermei-
                                                       dung von Riefenbildung.



           Abb. 21 Tuch-Faltmethode: „vierfach
           seitlich“, die Tuchkanten berühren die
           Oberfläche nicht















                                                                                                        303
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