Page 81 - Zur Reinheit funktionaler Oberflächen
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Fazit: Die Überwachung und Entladung aller Indexer ist in
einer Wafer-Fab eine absolut notwendige Maßnahme. Elek-
trische Ladungen durch Erdung zu vermeiden ist natürlich
einfacher und kostengünstiger als durch die Installation von
Ionisatoren. Erdungsmaßnahmen sind jedoch nur bei leitenden
Materialien sinnvoll. Nichtleiter wie Teflon, PVC, PFA, PC, usw.
lassen sich nur durch Ionisatoren entladen.
5.2.2 Ionisatoren-Wartung Die Möglichkeit der Reduzierung der Defektdichte durch den
Einsatz von Luftionisatoren ist unumstritten. Sehr wichtig ist
es jedoch darauf zu achten, dass die Funktion der Ionisatoren
auch dauerhaft gewährleistet ist. Dies bedeutet die Sicherstel-
lung einer turnusmäßigen, vorbeugenden Wartung und eine
Funktionskontrolle über das Fertigungs-Überwachungs-Zent-
rum. Bei der vorbeugenden Wartung werden die Entladezeiten
gemessen und eventuell neu eingestellt. Auch die Reinigung
der Ionisatornadeln wird hier durchgeführt.
Nur die turnusgemäße, vorbeugende Wartung im Zusammen-
hang mit einer Online-Überwachung garantieren eine optimale
Funktionalität der Ionisationsgeräte.
5.2.3 Zusammenfassung Elektrische Ladungs- und Entladungs-Phänomene während der
Halbleiter-Fertigung führen zu:
• Partikel-Kontamination der Siliziumscheiben und des
Produktions-Umfeldes.
• Verlust an Produktions-Ausbeute.
• Qualitäts-Verringerung der Halbleiter-Strukturen.
• Zuverlässigkeits-Problemen aller Art.
• Störungen und Ausfällen der Fertigungsanlagen.
Korrektive Maßnahmen zur Vermeidung elektrischer Ladungen
sind:
• Einbau von Ionisatoren und deren kontinuierliche oder dis-
kontinuierliche Überwachung.
• Erdung der Fertigungsanlagen.
• Einsatz von leitfähigen Materialien wo möglich.
4.3 Triboelektrische Ladungen des In einem Reinraum-Betrieb der Halbleiter-Produktion sind
Reinraum-Verbrauchsmaterials elektrische Oberflächen-Ladungen deswegen eine besondere
Gefahr, weil die gefertigten Halbleiterprodukte bereits bei
relativ geringen Entladungs-Spannungen Schaden nehmen
können. Aber auch viele Fertigungs-Vorgänge, die nicht in
unmittelbarer Produktnähe ablaufen, werden durch Ober-
flächen-Ladungen beeinträchtigt. Es ist also sinnvoll, nach
solchen Vorgängen zu suchen, bei denen es im Rahmen der
Produktion zur Flächenreibung kommt, um hier die Entstehung
von Ladungen zu verhindern oder dieselben abzuleiten. Tribo-
elektrische Ladungen entstehen insbesondere beim Umgang
mit dem Verbrauchsmaterial und der Reinraum-Bekleidung:
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