Page 9 - Zur Reinheit funktionaler Oberflächen

9.8 Tropfen-Randwinkel-Messung 180
9.9 Fazit 182
9.10 Literatur 183

10. Visualisierung von Mikro-Verunreinigungen (3) 185
Kollektor-Platte für Flüssigkeits-Rückstände,
Materialabdrücke und Partikel
10.1 Visualisierung von Reinheits-Zuständen 185
10.2 Entwicklung eines Indikator-Systems 186
10.3 Materialien, Geräte und Software 187
10.4 Versuchsdurchführung 188
10.5 Ergebnisse 189
10.6 Literatur 189

11. Elektronen-Mikroskop im PC-Format 191
beim Einsatz in der Reintechnik
11.1 Das Thermo-Fisher-Scientific
PHENOM-Elektronen-Mikroskop 192
11.2 Fazit 194

12. Prüf- und Forschungslabor der Reintechnik
als Beispiel (2) 201
Das Instrumentarium (Stand 05.2021)
12.1 Einführung 201
12.2 Mikroskopie 203
12.2.1 Raster-Elektronenmikroskop (mit EDX) 203
12.2.2 Optisches Mikroskop 203
12.2.3 DIC-Mikroskop 203
12.2.4 Raster-Kraft-Mikroskop (AFM) 204
12.2.5 REM-Proben-Trocknungsgerät 204
12.2.6 Auto-Sputter-Coater 204
12.3 Chemische Analytik 205
12.3.1 Gaschromatograph mit
Massenspektrometer 205
12.3.2 Festphasen-Mikroextraktions-Sonde
(SPME) 205
12.3.3 TOC-Analysator - organischer
Gesamtkohlenstoff 205
12.3.4 FTIR Spektrometer 206
12.3.5 Kapillar-Elektrophorese-Messplatz 206
12.3.6 Laser-Fluoreszenz-Messgerät 206
12.3.7 Leitfähigkeits-Messgerät 207
12.3.8 Mikrowellen-Extraktionssystem 207
12.3.9 Reinstwasser-Generator 207
12.3.10 Flüssigkeits-Tensiometer 208
12.3.11 Präzisions- und Analysenwaagen 208
12.3.12 Soxhlet-Extraktions-Apparat 208
12.3.13 UV/VIS-Spektrometer 209

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