Page 286 - Zur Reinheit funktionaler Oberflächen

das der Fall wäre, so ergäbe sich eine interessante Möglichkeit
der Erfassung mittels Kontakt-Transfer. Im Clear & Clean-For-
schungslabor ist ein Messplatz für Kontakt-Transfer-Prüfungen
einsatzbereit.

Partikel befinden sich auf allen Flächen eines Papierstapels,
stark vermehrt jedoch an den Schnittkanten. Es gab in der
Anfangszeit der Reintechnik keine eingeführte Methode zur
Prüfung der Oberflächen-Reinheit der Schnittkanten von
Papierstapeln. Wir mussten daher eine eigene Methode
entwickeln. Das Ergebnis war eine Aufnahmevorrichtung für
Partikel auf Oberflächen (PART-LIFT™-Partikel-Aufnehmer).
Dabei handelt es sich um einen Hub-begrenzten Federstempel
Abb. 15 Oberfläche Papier Hersteller 4, 250fach
mit adhäsiv ausgebildeter Frontplatte. Beim Andrücken dieser
Vorrichtung an die Seiten eines Papierstapels werden die
lösbaren Partikel auf der adhäsiven Frontplatte des Aufneh-
mers gebunden. Die Frontplatte ist von dunkler Färbung und
kann nun unter einem Mikroskop betrachtet und ausgewertet
werden. Die Bilder Abb. 17 und 18 zeigen Mikroskop-Aufnah-
men der Partikelbeläge von den Schnittkanten eines Papiersta-
pels vor und nach der Schnittkanten-Dekontaminierung. Für
diese Prüfung können auch die von der Firma CleanControlling
in Emmingen-Liptingen gefertigten Partikelfallen eingesetzt
werden. Dieses Unternehmen bietet auch einen Auswertungs-
Service an.

Die von Reinraum-Papieren freigesetzten Partikel sind in ihrer
Abb. 16 Oberfläche Papier Hersteller 5, 250fach Auswirkung auf das Prozessgeschehen nicht unbedingt gleich-
zusetzen mit z. B. Polymerpartikeln. Das liegt daran, dass der
Alle Aufnahmen Abb. 4, 5, 7, 8, 9 und Abb. 12 Werkstoff Papier von seinem Fertigungsverfahren her stets
bis 16 wurden mit einem Elektronen-Mikroskop
ISI 60 von Akashi-Leitz gemacht. einen relativ hohen Anteil an Natriumionen enthält, welche für
die Prozesse der Halbleiter-Fertigung d. h. für die Waferferti-
gung eine Gefahr bedeuten. Freigesetzte Papierteilchen sind
aber in diesem Sinne auch stets freigesetzte Ionen. Je besser
das Reinraum-Papier, desto weniger Ionen sind darin enthal-

Abb. 17 Mikroskop-Aufnahme von der Schnittkante eines Pa- Abb. 18 Mikroskop-Aufnahme von der Schnittkante eines Pa-
pierstapels vor der Dekontaminierung (Partikel-Transfer durch pierstapels nach der Dekontaminierung (Partikel-Transfer durch
Andruck an eine Kollektor-Platte) Andruck an eine Kollektor-Platte)

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