Page 39 - Zur Reinheit funktionaler Oberflächen
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• Arbeitszeitkosten der Instandhalter
• applikationsbezogener Effektivität der Reinigungs-Medien
• Dauer des Maschinenstillstands
2.5 Hausaufgaben für Anwender und Sollen die unerschlossenen Potenziale der manuellen Rei-
Lieferanten nigungs-Prozeduren vorbeugender Wartungsvorgänge und
deren mittelbarer Kosten ausgelotet werden, so bedarf es
gezielter Untersuchungen von vergleichendem Charakter.
Solche Untersuchungen betreffen im Wesentlichen ein sta-
tistisches Phänomen, in dem nur eine große Anzahl durch-
geführter Reinigungs-Prozeduren und Reinigungs-Medien
eine Aussagerelevanz ergeben können. Sie sollten deshalb in
einem entsprechenden Maßstab geplant und nachvollziehbar
dokumentiert werden. Solche umfangreichen Prüfungen sind
bei Instandhaltern erfahrungsgemäß nicht übermäßig beliebt,
weshalb es sinnvoll erscheint, für eine solche Prüfung im
großen Maßstab eine ausreichende Vorbereitung durchzufüh-
ren und die Instandhalter entsprechend zu unterrichten und
zu motivieren. Dies allein genügt jedoch nicht. Eine solche
Prüfung sollte nicht ohne Einbindung namhafter Hersteller der
Reinigungs-Medien stattfinden, weil dem Anwender möglicher-
weise nicht alle Einzelheiten der sachgerechten Applikation von
Reinigungs-Medien bekannt sind. Beispiel dafür ist die hoff-
nungslose Übertränkung der Reinigungs-Medien mit Lösungs-
mitteln im Rahmen der Reinigungsarbeiten bis zu dem Zustand
einer nicht mehr vorhandenen Reinigungswirkung. Vor Beginn
einer solchen Prüfung ist also die Applikation von Lösungs-
mitteln zu spezifizieren und auch zu trainieren - andernfalls
können die erhaltenen Ergebnisse nicht relevant sein. Gleiches
gilt beim Einsatz von Präzisions-Reinigungs-Tüchern für deren
vorschriftsgemäße Faltung vor dem jeweiligen Einsatz. Der
Trainingszustand der Instandhalter im Hinblick auf die Appli-
kation der Reinigungs-Medien ist eine wesentliche Vorausset-
zung für eine sachgerechte und vor Allem kostensenkende
Wartung. In der Praxis der Halbleiter-Fertigung ergibt sich
die Möglichkeit die vorgeschlagene Prüfung im Rahmen der
Instandhaltung von Plasmaätzmaschinen durchzuführen, Dies
scheint deswegen von Vorteil, weil über die Stillstandszeiten
dieser Anlagen ohnehin Buch geführt wird und der Vergleich
der Stillstandszeiten in der Folge des Einsatzes verschiedener
Reinigungs-Medien möglich ist.
Das System Erhaltung der Anlagen-Betriebs-Bereitschaft
Für jedes reinheits-abhängige System reagiert in irgendeiner Weise auf die manuellen Reinigungs-
besteht ein Reinheitsoptimum, welches Prozeduren, welche hier zu den kostenbestimmenden Sys-
gleichzeitig die optimale Ökonomie des temparametern gehören. Wie es unter den verschiedenen
Systems kennzeichnet. Voraussetzungen reagiert, das gilt es zu erforschen. Im
Umkehrschluss darf nun jedoch eine wichtige Feststellung
nicht fehlen: Wenn denn angenommen werden muss, dass
System-Funktionalität von den Gebrauchs-Eigenschaften der
Reinigungs-Medien abhängig ist, und gleichzeitig über die
Prüfmethoden für diese Medien weltweit kurzfristig keine Einig-
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