Page 23 - Zur Reinheit funktionaler Oberflächen
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wäre die moderne Mikro-Elektronik nicht denkbar.
• Hugh Howorth, (1909-2004) der 1961 in England kleine
Operationskammern mit laminarem Luftstrom entwickelte,
um die nachoperative Komplikationsrate bei den von dem
orthopädischen Chirurgen Sir John Charnley durchgeführten
Hüft-Operationen zu senken, was am Ende auch gelang.
• Wallace Coulter (siehe Abb. 7), (1913-1998) erfand 1953
einen elektronischen Zähler für Partikel in Flüssigkeiten.
Somit waren Partikel nun sowohl quantifizierbar als auch
nach Feret-Durchmesser klassifizierbar geworden.
• Die Arbeitsgruppe Manhattan-Project entwickelte in den
40er Jahren des 20. Jahrhunderts den HEPA-Filter. Damals
bestand die Aufgabe, die radioaktiven Partikel, die bei den
ersten Versuchen zur Herstellung einer Atombombe entstan-
den aus der Raumluft herauszufiltern.
• In den 80er Jahren des 20. Jahrhunderts entwickelten die
Technologen Ulrich Kaempf, Mihir Park, Dave Trasher und
Barclay Tullis bei dem amerikanischen Technologie-Konzern
“Hewlett-Packard“ eine standardisierte, modulare Ferti-
gungs-Plattform für die Herstellung von Halbleiter-Scheiben
(Wafer). Die Erfinder nannten die Technologie SMIF für
„Standard Mechanical Inter Face“ (Abb. 6). Dabei handelt
es sich um eine Fertigungs-Technik, bei der alle Fertigungs-
Abb. 6 SMIF-pod für 6“ Wafer schritte vom Einfahren der Silizium-Scheiben bis zum ferti-
(Foto: 邱銘乾 - Wikimedia Commons) gen Wafer isoliert von einer normalen Fertigungs-Umgebung
stattfinden.
Aber auch in der Liga der weniger bekannten Erfinder und
Entrepreneure gab es unvergessliche Persönlichkeiten: Einer
von ihnen war der amerikanische Physiker Alvin Lieberman
(Abb. 8). Er war neben Wallace Coulter einer der Väter der
elektronischen Partikelmessung. Ohne diese Technik wäre es
nicht möglich gewesen, Technologien wie den Techniken des
Reinen Arbeitens das physikalisch-mathematische Gerüst
Abb. 7 Wallace H. Coulter, Erfinder des Abb. 8 Alvin Lieberman, „Vater“ des Abb. 9 Edward Paley, Texwipe fertigte
Coulter-Prinzips für die Teilchenzählung Partikel-Zählers die ersten „Reinraum-Tücher“
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