Page 236 - Zur Reinheit funktionaler Oberflächen
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Abb. 6 Reinraumtuch Hersteller 1, Abb. 7 Reinraumtuch Hersteller 2, nach Abb. 8 Reinraumtuch Hersteller 3, nach
getränkt, nach Auftrocknen auf der Wischen, Zeiss AxioZoom V16, 24fach Wischen, Zeiss AxioZoom V16, 24fach
Kollektor-Platte, (Zellstoff-Polyester-Vlies),
Zeiss AxioZoom V16, 24fach
tor-Platte gelegt und dort auftrocknen lassen (Abb. 6). Beim 2.
und 3. Versuch (Abb. 7 und 8) wurde über die Kollektor-Platte
gewischt. Dabei sind wir davon ausgegangen, dass sich nach
dem Wischvorgang auf der Oberfläche der Kollektor-Platte
keine nicht-flüchtigen Rückstände (NVR) abbilden dürften,
wenn solche im Tuch nicht bereits enthalten sind. Aufgrund
der Ergebnisse gehen wir davon aus, dass alle geprüften
Reinraum-Tücher nicht flüchtige Rückstände enthalten und
diese beim Wischen Spuren auf den Oberflächen hinterlassen.
Die Rückstandmasse nach dem Wischen war jedoch deutlich
geringer als beim Auftrocknen lassen.
14.3 Prüfmethoden Die reale Partikelfreisetzung im Zusammenhang mit dem
Verbrauchsmaterial-Einsatz ist weder absehbar noch nach-
14.3.1 Realität und Simulation von vollziehbar [12]. Wir versuchen daher, sie durch sinnreich
Partikelfreisetzung konstruierte Prüfgeräte zu simulieren und zu qualifizieren.
Aber was auch immer wir messen und egal wie genau, es fehlt
uns für die ermittelten Daten eine Bezugsgröße 1. Ordnung
zum Fertigungs-Prozess. Das wäre allein die Fertigungs-
Ausbeute. So lange wir die gemessene Partikelfreisetzung des
Reinraum-Verbrauchsmaterials im Fertigungs-Prozess nicht zur
Fertigungs-Ausbeute in Relation setzen können, ist alles was
wir unternehmen reine Spekulation. Ob von einem Handschuh
beim Arbeiten pro Zeiteinheit 10³ oder 10 Partikel freige-
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setzt werden ist nur dann relevant, wenn diese Partikelmenge
entweder eine Reduzierung der Fertigungs-Ausbeute mit sich
bringt oder aber eine Gefahr für Mensch und Umwelt.
Angesichts dieses Zuordnungs-Defizits haben sich die Pre-
mium-Verbrauchsmaterial-Hersteller und große Anwender
stillschweigend auf eine Bezugsgröße 2. Ordnung verständigt.
Sie verfahren nach der Methode der komparativen Qualitäts-
Beurteilung. Um die Unbedenklichkeit des Einsatzes bestimm-
ter Reinraum-Verbrauchsmaterialien sicherzustellen, wird die
Gebrauchs-induzierte Kontamination von Verbrauchsmaterial,
das bekanntermaßen bereits problemlos in Prozessen mit
optimierter Fertigungsausbeute eingesetzt wird, analytisch
bestimmt. Die so ermittelten Kontaminations-Daten gelten
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